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彭晔
作品数:
5
被引量:12
H指数:2
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李秉臣
中国科学院半导体研究所
朱洪亮
中国科学院半导体研究所
廖显伯
中国科学院半导体研究所
杨沁清
中国科学院半导体研究所
成步文
中国科学院半导体研究所
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彭晔
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1999
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808nm大功率量子阱激光器无吸收腔面镀膜的研究
被引量:9
1999年
用电子束反应蒸发法制备的 a Si∶ H 膜和 Al2 O3 膜组成的 a Si∶ H/ Al2 O3 膜系,解决了 a Si/ Al2 O3 膜系在 808nm 波长有较强光吸收问题,吸收系数从 2×103cm - 1 降低到可以忽略的程度.a Si∶ H 膜的光学带隙为 174e V 左右.应用到 808nm 大功率量子阱激光器腔面镀膜上。
李秉臣
彭晔
廖显伯
关键词:
量子阱激光器
腔面镀膜
2.5G DFB量子阱激光器p型欧姆接触电极的研究
2000年
对2.5GDFB量子阱激光器p型低阻欧姆接触电极进行了研究,在退火温度400℃,退火时间30s进行快速热退火条件下,对AuPtTiInAsp+-InGaAs(掺Zn>1×1019cm-3)MQWnInP和AuPtTip+-InGaAs(掺Zn>1×1019cm-3)MQWnInP两种结构进行了p型欧姆接触试验研究,并对两者串联电阻进行了比较,其结果前者的串联电阻阻值为后者的1/4。
李秉臣
彭晔
朱洪亮
关键词:
串联电阻
量子阱激光器
欧姆接触电极
Au-Pt-Ni/p-InP新的低欧姆接触电极
被引量:1
1998年
用磁控溅射法淀积的非合金膜系Au_Pt_Ni/ p_InP( 1~ 2× 1 0 18cm-3 ) ,在 40 0℃ 30s的退火条件下 ,实现了比接触电阻低达 3× 1 0 -6Ω·cm2 的欧姆接触 .对不同温度 ( 30 0~ 5 0 0℃ )退火的Au_Pt_Ni/ p_InP欧姆接触所做的AES深度剖面分析揭示了Pt膜层阻挡Au的内扩散和InP外扩散的作用 .
李秉臣
彭晔
李建中
关键词:
比接触电阻
化合物半导体
2.5G DFB量子阱激光器p型欧姆接触电极的研究
对2.5G DFB量子阱激光器p型低阻欧姆接触电极进行了研究,在退火温度400℃,退火时间30s进行快速热退火条件下,对Au-Pt-Ti/InAs/p<'+>-InGaAs(掺Zn>1×10<'19>cm<'-3>)MQ...
李秉臣
彭晔
朱洪亮
关键词:
欧姆接触
串联电阻
文献传递
用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器
被引量:2
2000年
Si基共振腔型光电探测器的关键工艺是隐埋 Bragg反射器镜面的制备 .用 PECVD方法在 Si衬底上制备了 Si Ox Ny/Si Bragg反射器 ,研究了 Bragg反射器的反射谱和退火行为 .
李成
杨沁清
朱家廉
王红杰
成步文
余金中
王启明
王鲁峰
彭晔
关键词:
共振腔
光电探测器
硅基
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