时光
- 作品数：37 被引量：39H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 应用于高性能光学薄膜表征的光热光声检测技术被引量：6
- 2014年
- 本文介绍了光热与光声探测技术的基本原理,结合光学薄膜的吸收测试、光学薄膜的激光辐照特性表征、激光损伤特性表征以及光学薄膜的机械性质表征等各种具体应用,对激光量热法、光热偏转法、表面声波法等典型的光热、光声检测方法进行了分析;阐述了这些方法的测试原理以及各自优势与不足。介绍了该领域利用这些方法取得的一些成果,并就光声光热检测技术的发展趋势做了展望。
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- 关键词：激光辐照
- 一种建立用于计算沉积速率的理论模型的方法
- 本发明实施例公开了一种建立用于计算离子束溅射薄膜过程中沉积速率的理论模型的方法，通过实验测试得到待测平面二维离散点的膜厚数据，对数据进行拟合处理获得理论模型中的未知参数，进而可采用所述理论模型计算获得该平面任一点的沉积速...
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- 文献传递
- 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜被引量：3
- 2013年
- 为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm～800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射线衍射仪进行了分析。结果表明,离子束溅射镀制的LaF3薄膜折射率最高、表面粗糙度最低,但吸收较大;电子束蒸发法虽然吸收最小,但是折射率偏低且表面粗糙度较高;热舟蒸发法镀制的LaF3薄膜无论折射率、消光系数还是表面粗糙度都处于3种方法中间位置。综合各项指标,热舟蒸发法最适合于沉积深紫外LaF3薄膜。
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- 关键词：LAF3热蒸发离子束溅射深紫外
- 一种用于确定非正入射条件下光学原件透过率的方法
- 本发明提供一种用于确定非正入射条件下光学原件透过率的方法，属于光学原件领域。解决现有的方法需要透过率已知的参考样品、需要制作两个透过率完全一致的样品、样品透过率存在制作误差与测量误差的问题。该方法先按照分光光度计的透过率...
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- 利用斐索干涉仪检测大口径元件膜厚均匀性的方法
- 本发明涉及一种利用斐索干涉仪检测大口径元件膜厚均匀性的方法，包括以下步骤：对所述大口径元件进行预处理，消除大口径元件内部残余应力；静置第一预设时间后，利用斐索干涉仪对大口径元件进行面形测量，并标记为初始面形W1；为大口径...
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- 文献传递
- 提高深紫外大口径球面光学元件膜系一致性的方法
- 提高深紫外大口径球面光学元件膜系一致性的方法，涉及深紫外薄膜制备领域，解决了在采用热蒸发方法为大口径、大口径/曲率半径球面光学元件镀制深紫外减反膜系时，由于元件表面不同位置沉积速率和沉积角不同，导致元件表面各处厚度及填充...
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- 文献传递
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法
- 用于确定光学材料激光辐照老化寿命的加速实验方法，涉及光学材料，解决测试光学元件的使用寿命时，存在的耗费时间长，且浪费人力物力等问题，同时采用加速实验方法时无法确定加速比的问题，本发明方法将材料加工成符合激光量热吸收测试所...
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- 文献传递
- 可调节式光学镀膜夹具
- 可调节式光学镀膜夹具，涉及光学镀膜领域，解决了现有镀膜夹具存在的只针对单一尺寸和单一形状的待镀膜基片而当待镀膜基片的尺寸和形状发生改变时不再适用的问题。本发明包括连接构件；开有多个T型槽的固定导向构件；一一对应安装在T型...
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- 一种光度计变角度测试夹具
- 本发明一种光度计变角度测试夹具，属于光谱测量领域，解决了现有技术中测量不准确、误差大的技术问题；本发明包括支撑机构和两个相同的样品夹持机构，所述支撑机构包括连接单元和角度转换单元，所述连接单元包括一个U形槽和三个通孔，连...
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- 文献传递
- 一种光学元件超声波清洗装置
- 本发明涉及一种超声波清洗装置，属于光学镀膜技术领域；为了解决在超声波清洗过程中不同的原件必须准备不同规格的装置，不仅成本高，并且仍然存在规格不匹配的技术问题；本装置包括金属外框、金属横梁、支柱固定夹和锁紧固件；水平平行安...
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- 文献传递
