- 热释电非制冷红外焦平面探测器热绝缘结构被引量：4
- 2011年
- 热释电非制冷红外探测器由于具有可靠性高、成本低、无需制冷等优点,使其得到了广泛应用。在热释电探测器中,热绝缘结构具有红外热转换、机械支撑和热隔离等作用。良好的热绝缘结构是减小探测器热导率和改善其性能的关键。采用半导体光刻技术和牺牲层技术,在硅基底上制备了由牺牲层和Si3N4薄膜组成的微桥结构,该方法使探测器的微桥结构的制备与半导体工艺相兼容,并通过优化工艺参数,提高了微桥结构的机械强度,减小了热导,解决了制备热绝缘结构的关键技术,制备了像元中心距为50μm、填充因子为40%～60%、耐受温度≥500℃的320×240微桥列阵,该结构为制备高性能非制冷焦平面探测器奠定了基础。
- 何雯瑾太云见李玉英袁俊史衍丽
- 关键词：非制冷探测器热释电
- 一种低应力的各向同性有机物填充的装置及方法
- 本发明涉及一种新的低应力的各向同性有机物填充的装置及方法，属于探测器微细加工技术领域。该方法在热释电陶瓷网格化后的沟槽内，通过化学气相沉积的工艺，填充聚对二甲苯（Parylene）。通过控制沉积温度、腔体压力、时间等参数...
- 杨春丽胡旭魏虹李玉英王向前洪雁
- 文献传递
- 热释电红外探测器PZT晶片粘接质量控制被引量：3
- 2013年
- 热释电红外探测器芯片研制中,晶片粘接是芯片研制中的关键工艺之一。本文详细论述了粘接胶的选择依据及晶片粘接质量控制。确定了适合器件研制的粘接胶和粘胶工艺流程。对粘接中出现的问题及解决办法进行了讨论。研制出了完全能满足器件工艺要求的热释电探测器PZT晶片。
- 黄江平冯江敏王羽苏玉辉信思树李玉英
- 关键词：热释电红外探测器
- 光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究
- 简要介绍了光刻在128×128混合式非制冷热释电焦平面(UFPA)探测器制作中的重要地位,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究.对铟柱成形的几种方法进行了比较,确定了剥离法制备铟柱.并进行了光刻实验与分析,得到...
- 杨春丽黄江平黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：光刻技术焦平面探测器
- 一种低应力的各向同性有机物填充的装置及方法
- 本发明涉及一种新的低应力的各向同性有机物填充的装置及方法，属于探测器微细加工技术领域。该方法在热释电陶瓷网格化后的沟槽内，通过化学气相沉积的工艺，填充聚对二甲苯（Parylene）。通过控制沉积温度、腔体压力、时间等参数...
- 杨春丽胡旭魏虹李玉英王向前洪雁
- 文献传递
- 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究被引量：8
- 2003年
- 着重介绍了我们在“1 2 8×1 2 8混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)”研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法。强调了铟膜制备基本工艺要求。根据薄膜均匀性要求 ,计算出了蒸发源距工件的距离及所需材料量 ,确定了保证铟膜不氧化的关键数据及具体操作。文中给出了铟柱列阵显微照片 (显示了铟膜厚度)和铟柱列阵的立体形貌像 ,还介绍了铟柱列阵成型方法及铟柱生长工艺流程 ,并叙述了倒装互连技术 ,且给出了我们的成像演示照片和器件照片 。
- 黄江平杨春丽黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：热释电焦平面铟柱UFPA
- 光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究被引量：3
- 2004年
- 简要介绍了光刻在 1 2 8× 1 2 8混合式非制冷热释电焦平面 (UFPA)探测器制作中的重要地位 ,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究。对铟柱成形的几种方法进行了比较 ,确定了剥离法制备铟柱。并进行了光刻实验与分析 ,得到了满足 1 2 8× 1 2
- 杨春丽黄江平黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：光刻剥离法UFPA探测器
- 热释电焦平面探测器倒装互连工艺研究
- 本文概述了热释电焦平面器件的倒装互连,以及各工艺参数之间的关系,并介绍了倒装互连之前的关键工艺——铟(In)柱制备的改良方案.
- 杨登全黄承彩杨瑞宇李玉英杨春丽
- 关键词：热释电混合式铟柱焦平面探测器
- 文献传递
- 紫外探测器用CdS晶片制备工艺研究被引量：2
- 2014年
- 介绍了叠层紫外/红外双色探测器结构特点、工作原理及选择CdS晶体材料制作紫外探测器光敏元的理论依据。阐述了CdS晶片制备及表面抛光质量的重要性和必要性。针对磨抛工艺对CdS紫外探测器性能的影响进行了研究。对比了几种抛光液对晶片表面的抛光效果,并进行了扫描电镜、红外透过率和表面粗糙度分析,得到了抛光后晶片表面的扫描电子显微镜(SEM)照片和CdS晶片厚度与红外透过率的关系曲线及CdS晶片厚度与振动噪声的关系。通过理论和实践的结合,确定了最佳抛光材料及最佳晶片厚度,研制出了完全能满足紫外探测器工艺要求的CdS探测器晶片。
- 黄江平何雯瑾袁俊王羽李玉英杨登全
- 关键词：紫外探测器红外透过率表面粗糙度
- 128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵铟膜及铟柱制备工艺研究
- 着重介绍了我们在"128×128混合式热释电非致冷焦平面探测器列阵(UFPA)"研制中铟膜及铟柱的制备和我们选择铟做混合式UFPA互连材料的理由与互连方法.强调了铟膜制备基本工艺要求.根据薄...
- 黄江平杨春丽黎力杨登全张丽华李玉英
- 关键词：铟柱
