潘青枝
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科委“登山计划”教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>
- 基于Petri网的半导体炉管区动态调度研究
- 炉管区批调度(Batch Scheduling)是复杂多重入的半导体晶圆制造系统车间层调度与控制研究的一个热点。本文结合国内外已有的研究成果,针对炉管区批处理过程的动态调度问题进行了系统和深入的研究。本文所做的主要工作为...
- 潘青枝
- 关键词：PETRI网微粒群算法
- 文献传递
- 半导体炉管区E/T问题的动态调度算法
- 2008年
- 炉管区是半导体制造过程中用于热处理的重要区域。在多品种不同交货期的晶圆产品连续到达的环境下,提出了优化目标为极小化E/T(提前/延迟)值的WCRH(加权成本率)算法。该算法根据产品的交货期实时更新晶圆产品的加工优先级;通过计算和比较加权成本率来确定哪一种晶圆优先加工以及投入加工的时间。仿真结果表明,该算法在减小E/T值和缩短加工完成时间方面,优于文献中提及的启发式算法。
- 潘青枝周炳海
- 关键词：半导体制造批处理炉管
- 晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析被引量：7
- 2006年
- 晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节,晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本。为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能,分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况,进行了赋时Petri网建模研究,建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型。在此基础上,进行了稳态生产率分析,同时用实例验证了模型的有效性和实用性。
- 周炳海潘青枝王世进
- 关键词：晶圆制造赋时PETRI网性能分析
- 基于FIPA-Agent的混合式制造单元控制系统研究被引量：1
- 2006年
- 为了使制造单元控制系统具有自治性、合作性、可重构性及易维护性等特性,文章在FIPA-Agent技术规范的基础上,提出了制造单元混合式控制系统结构体系;同时对控制系统中通用Agent功能结构进行了较详细的设计,建立了基于JADE的控制系统软件结构。在此基础上,进行了控制系统中各个功能实体的FIPA-Agent设计;最后,在MSWinProfessional2000、JADE和JAVA环境下,进行原型系统的开发、评价,并得到初步的结果。
- 周炳海潘青枝赵昕
- 关键词：协商机制
- 基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模被引量：4
- 2007年
- 提出了一种扩展的面向对象混合Petri网(EOHPN)的建模方法:针对晶圆制造系统的复杂性,在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制;为了减少系统建模的复杂性,引入混合Petri网并用面向对象建模技术作了扩展。在定义EOHPN模型的基础上,作了对象模型的拓展。用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程,验证了模型在处理系统建模时的有效性。
- 周炳海潘青枝陶丽华
- 关键词：晶圆制造PETRI网面向对象模型
