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王启明
作品数:
235
被引量:312
H指数:9
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
成步文
中国科学院半导体研究所
余金中
北京师范大学分析测试中心
左玉华
中国科学院半导体研究所
李传波
中国科学院半导体研究所
薛春来
中国科学院半导体研究所
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作者
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王启明
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成步文
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2007
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2005
10篇
2004
7篇
2003
10篇
2002
14篇
2001
共
235
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应变补偿InGaAsP/InP量子阱DFB激光器与“扇形”光放大器的集成
被引量:4
1998年
本文在国内首先报道采用MOVPE技术研制成功了InGaAsP/InP应变补偿型量子阱DFB激光器与“扇形”光放大器的集成器件,实现了30mW单纵模工作.采用调制光放大器、静态偏置DFB激光器的方法,产生了低啁啾、高功率的单纵模高频光脉冲.集成器件的研制成功,为其它含介质光栅反射器的光子集成器件的研制开辟了一条广阔的道路.
王志杰
王圩
王启明
关键词:
DFB激光器
光放大器
溅射外延GeSn/GeSiSn多量子阱材料光电性能研究
郑军
张永旺
刘智
左玉华
李传波
薛春来
成步文
王启明
a-Si/SiO_2多量子阱材料制备及其晶化和发光
被引量:5
1997年
本文研究用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法淀积SiO2和非晶硅(a-Si)时淀积速率和薄膜折射率与淀积条件的关系.选择合适的淀积条件制备了a-Si/SiO2多量子阱结构材料.用激光扫描退火方法使其晶化,当a-Si和SiO2层厚度分别为4nm和6nm时,形成了颗粒大小为3.8nm的硅晶粒.晶化后的样品在10K下可以观察到较强的光荧光发射,三个峰值波长分别为810、825和845nm.
成步文
余金中
于卓
王启明
陈坤基
黄信凡
关键词:
多量子阱
晶化
光致荧光
非晶硅
高精度双晶衍射(HRDCD)方法检测InGaAs/GaAs超薄应变层量子阱结构参数
被引量:1
1995年
应变超薄层结构的组分、厚度、应变状态的直接检测,对于器件应用具有重要的意义,本文中,利用MOCVD方法得到高质量的InGaAs/GaAs量子阱材料,采用双晶衍射方法的弱信号收集技术,结合运动学理论模拟,得出同时包含几个不同阱宽的InGaAs/GaAs量子阶结构的重要参数,其检测结果与光致发光(PL)、透射电子显微镜(TEM)等方法的测试结果基本一致,表明X射线双晶衍射方法是检测超薄层应变量子阱结构的一个有效方法.
王小军
庄岩
王玉田
庄婉如
王启明
黄美纯
关键词:
砷化镓
量子阱结构
荧光膜在LED中的应用
李乐良
郑军
左玉华
成步文
王启明
关键词:
稀土
白光
磁控溅射
硅基高效等电子掺杂发光器件及制作方法
一种硅基高效等电子掺杂发光器件,其中包括:一n-型或p-型硅基衬底;一硅基掺杂层,该硅基掺杂层制作在n-型或p-型硅基衬底上面,该硅基掺杂层是发光器件的有源区;一p-型或n-型重掺硅层,该p-型或n-型重掺硅层制作在硅基...
张建国
王晓欣
成步文
余金中
王启明
文献传递
硅基GeSn合金光电探测器
采用MBE方法,在Si(001)衬寸底上,以低、高温两步法生长的Ge薄膜为缓冲层,生长出了高质量的GeSn合金,并研究了GeSn合金的热稳定性。成功制作出硅基GeSn合金p-i-n型光电探测器,相关性能指标为目前国际上最...
薛春来
苏少坚
汪巍
张广泽
成步文
王启明
关键词:
硅基
宽频域的硅基微机械可调谐光滤波器的制作方法
一种宽频域的硅基微机械可调谐光滤波器的制作方法,包括如下步骤:在基片上制作第一电极,并且在电极层中制作电极引线引出孔;在第一电极上制作第一反射镜,是滤波器必备的反射镜之一;在第一反射镜上制作牺牲层,在牺牲层上制作第二反射...
左玉华
毛容伟
王良臣
成步文
余金中
王启明
文献传递
在Si基片上生长高密度超小型Ge量子点的方法
本发明提出了一种在Si基片上生长高密度超小型Ge量子点的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在Si基片上生长Si缓冲层,改善衬底晶体质量;(2)降低生长温度,生长Ge浸润层;(3)中断10~40秒,抽走反应气体;(4)...
时文华
李传波
王容伟
罗丽萍
王启明
文献传递
Si_(1-x-y)Ge_xC_y材料的外延生长方法
2000年
本文分析了Si1 -x- yGexCy 半导体材料外延生长的困难所在 ,总结了用于生长Si1 -x- yGexCy材料的各种生长方法 ,并分析比较了各自的特点。
于卓
成步文
李代宗
余金中
王启明
梁骏吾
关键词:
半导体材料
锗
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