凌行
- 作品数：12 被引量：17H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部重点实验室基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法
- <B>一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单...
- 汪红何明轩李源凌行卢歆丁桂甫
- 金刚石薄膜自支撑窗口试样的制备与实验研究被引量：1
- 2004年
- 以氢气和丙酮为原料,采用电子增强热丝CVD法,在硅片(100)基底上涂覆一层金刚石薄膜,在传统的硅平面加工工艺的基础上发展了一种新的在沉积好的基片上制备自支撑窗口试样的方法,并采用光刻法和湿式各向异性刻蚀技术制备得到金刚石薄膜自支撑窗口试样.研究表明,所制备的金刚石薄膜自支撑窗口的形状比较规则,膜内残留内应力小,能很好地满足鼓泡实验的要求,可以用来定量检测金刚石薄膜膜基界面结合强度和综合评价薄膜力学性能,对于促进金刚石薄膜材料在半导体器件中的应用和推广具有积极的意义.
- 简小刚孙方宏陈明张志明沈荷生凌行
- 关键词：金刚石薄膜
- 常规与纳米金刚石薄膜介电性能的比较被引量：1
- 2001年
- 用热丝CVD方法制备了常规和纳米金刚石薄膜。测量了其电阻率、介电常数和损耗角正切值。实验结果表明 ,常规金刚石薄膜的电导率、损耗角正切值均小于纳米金刚石薄膜 ,介电性能比较理想。两种薄膜的介电常数基本相同 ,损耗角正切值在1 0 5 Hz处都有弛豫极大值 ,表明在该频率范围内 ,主要为弛豫损耗机制。
- 奚正蕾莘海维张志明凌行沈荷生戴永兵万永中陆鸣
- 关键词：金刚石薄膜纳米金刚石薄膜介电性能
- 微系统集成大面积智能化衬底技术研究
- 1999年
- 智能化衬底技术既是集成微系统的载体，也是微系统集成的手段。采用真空盒吸片技术开发了一种实用的智能化衬底技术工艺方法。真空盒吸片技术解决了芯片的初始定位（对准装片）及芯片位置和共平面性的保持，确保了可用 Ｉ Ｃ工艺完成芯片间的互联。并使工艺的加工面积不受限制，且可达圆片尺度。因此，该智能化衬底技术工艺方法具有很强的实用性和很好的可靠性。
- 汤玉生凌行戴庆元沈志广
- 关键词：微系统ICMIC
- 压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试被引量：5
- 2003年
- 由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层,通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条,再经金属化处理和腐蚀硅压力腔,得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明,输出电压—压力曲线线性较好,重复性好,常温下灵敏度高。
- 凌行莘海维张志明孙方宏戴永兵沈荷生
- 关键词：压阻式金刚石薄膜压力微传感器制作方法
- 金刚石薄膜图形化技术的研究被引量：2
- 2002年
- 从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等。
- 莘海维奚正蕾凌行张志明
- 关键词：金刚石薄膜图形化刻蚀
- KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究被引量：1
- 1997年
- KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐蚀技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃的PN结自致蚀停的基本特性，并发展了一种简化的三电极系统。该新的系统既保持了双电极系统的简便性又具备四电极系统可防错误腐蚀终止的功能。新系统PN结偏置独立回路中的监测电流和电压均能给出明显的腐蚀终止指示。实验结果和分析表明，用这种新的系统或四电极系统进行微机械加工时．加工样品的PN结结面应和腐蚀窗口面积接近，才能确保腐蚀终止指示的明显化。
- 汤玉生沈志广戴庆元凌行颜景沪徐秀琴
- 关键词：硅微结构电化学腐蚀
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出...
- 汪红何明轩李源凌行卢歆丁桂甫
- 文献传递
- 无阀微泵压电特性分析及性能测试被引量：5
- 2013年
- 提出了一种用于微量试剂分析的压电驱动微泵模型.该微泵模型采用压电阵子驱动、硅基泵体以及聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)封装而成.对压电阵子振动模态进行有限元分析,得出1～4阶模态及驱动频率,使微泵容积效率为最大的应为1阶模态.通过对微泵压电-应力耦合场进行数值分析,得出微泵最佳驱动频率范围应小于1kHz.最后,采用微系统加工方法制作出微泵模型,并对其性能进行测试.结果表明:电压为100V(p-p)的正弦波驱动下,频率为60和200Hz时,微泵流量最大达到34.5μL/min,而当频率在60～600Hz时微泵压力最大达到657Pa,与数值分析结果相吻合.
- 关炎芳耿铁韩莉莉刘春波凌行
- 关键词：微泵压电模态
- 纳米金刚石薄膜的制备与介电性能
- 当CVD金刚石薄膜作为微压力传感器和声表面波滤波器等微电子器件应用时,都要求薄膜光滑平整,以适合于传统的光刻工艺。但是,由于金刚石的表面能很大,常规的CVD多晶金刚石薄膜表面凹凸不平,不利于光刻等微细加工工艺。另一方面,...
- 莘海维奚正蕾张志明凌行沈荷生戴永兵万永中
- 文献传递
