刘长林
- 作品数:11 被引量:32H指数:4
- 供职机构:武汉工程大学更多>>
- 发文基金:湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信一般工业技术化学工程更多>>
- 大气压微波等离子体射流装置设计及实验研究
- 大气压微波等离子体具有设备成本低、无电极污染和适合于工业化生产等优点,具有极好的应用前景。目前大气压等离子体射流装置主要是从放电方式、电极结构和功率源三个方面进行设计和优化。本文利用Ansoft HFSS高频电磁场模拟软...
- 刘长林
- 关键词:大气压力微波等离子体射流电磁场
- 文献传递
- 常压微波等离子体射流的仿真与实验
- 介绍了一台低成本稳定的常压微波等离子体射流装置,给出了该设备组成以及谐振腔的构造,数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布,应用有限元模拟分析软件HFSS对谐振腔及喷嘴尖端的电场分布进行了仿真,在此基础上对装置...
- 刘繁汪建华熊礼威刘长林
- 关键词:结构特征电场分布
- 类金刚石涂层微型钻头的制备研究
- 通过在微型硬质合金钻头上分别施加W、WC、Ti和TiN等4种单层过渡层,在自制射频辉光等离子体装置上沉积了类金刚石(DLC)涂层。运用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对各道工序前后钻头的表面形貌和类金刚石涂层的质量进行了表...
- 李远汪建华谢鹏熊礼威刘长林
- 关键词:DLC膜附着力
- 文献传递
- 大气微波等离子体射流装置研究及实验分析
- <正>大气压微波等离子体具有设备成本低、无电极污染和适合于工业化生产等优点,有着非常广阔的应用前景。目前大气压等离子体射流装置主要从放电方式、电极结构和功率源三个方面进行设计和优化。本研究在电磁场分布理论的指导下用Ans...
- 苏含刘长林熊礼威刘繁
- 文献传递
- 常压微波等离子体炬装置的模拟与设计被引量:9
- 2011年
- 介绍了一台低成本的常压微波等离子体炬设备,给出了该设备构造及喷嘴的设计思路,分析了各种气体的非磁化微波等离子体的击穿电场强度,数值求解了设备中矩形TE103谐振腔中的电磁场分布,应用高频电磁场模拟分析软件HFSS优化了喷嘴在波导中的具体位置,并对优化后喷嘴周围的电场分布进行了模拟。模拟结果表明:微波输入有效功率为500W,喷嘴伸出矩形波导1mm时,喷嘴尖端处的电场强度在1.2×106 V.m-1以上,远大于氩气的击穿电场强度,更易于等离子体炬的激发。实验结果证明了模拟结果的正确性和装置的有效性。
- 刘繁汪建华王秋良戴松元刘长林
- 关键词:微波等离子体炬常压数值模拟电场分布
- 金刚石半导体研究进展被引量:8
- 2010年
- 金刚石具有一系列优异的物理化学性能,特别是独特的电学和热学性能,使其在半导体领域具有极佳的应用前景。通过详细评述金刚石的各种性能,以及与其他半导体材料的性能比较,提出了金刚石在半导体器件应用领域的优势。详细介绍了金刚石半导体掺杂以及金刚石半导体器件的种类和应用,并在此基础上展望了金刚石在半导体领域的应用。
- 熊礼威汪建华满卫东刘长林翁俊
- 关键词:金刚石半导体掺杂
- 微波CVD金刚石热沉片的制备研究被引量:3
- 2009年
- 采用化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石薄膜具有接近于天然金刚石的导热性能,是目前最为理想的热沉材料。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)制备了金刚石热沉片,并在此基础上研究了不同沉积工艺对金刚石热沉片散热性能的影响。采用扫描电子显微镜(SEM)和激光拉曼光谱(Raman)检测了薄膜的表面形貌及纯度,金刚石热沉片的导热性能则通过测量封装LED后薄膜的散热效果来进行表征。结果表明,在其他条件不变的情况下,提高生长过程中的微波输出功率、降低反应气压以及增加基片温度有利于制备出散热性能更佳的金刚石热沉片。
- 熊礼威汪建华满卫东谢鹏孙蕾吴斌刘长林
- 关键词:微波等离子体化学气相沉积金刚石膜
- 大气微波等离子体射流装置研究及实验分析
- 苏舍刘长林熊礼威刘繁
- PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究被引量:6
- 2010年
- 为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求,在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法(PECVD)在PET材料表面制备了氧化硅薄膜,通过结果分析,对两种方法从原理、各自优点等方面进行了比较,并就沉积时间、工作气压、电源功率对各自所沉积薄膜阻隔性的影响作了相应分析,得出了两种方法各自的最佳工艺条件.
- 刘玉兰汪建华熊礼威刘长林
- 关键词:PET氧化硅薄膜磁控溅射PECVD
- ZnO薄膜的制备及p型掺杂研究进展被引量:4
- 2009年
- 氧化锌是一种在声表面波传感器、压电器件以及太阳能电池等方面具有很好应用前景的材料。介绍了目前制备ZnO薄膜的主要方法,综述了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,并对ZnO薄膜的研究进行了展望。
- 刘长林汪建华熊礼威翁俊王文君李远陈冠虎
- 关键词:ZNO薄膜P型掺杂