唐洁
- 作品数：10 被引量：29H指数：4
- 供职机构：天津大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 基于双微悬臂梁结构的微型镊子
- 本发明公开了一种基于双微悬臂梁结构的微型镊子，包括基底、两个固定在该基底上的微悬臂梁。所述的微悬臂梁上设置有作为驱动载体的压电薄膜，所述基底设置有引出电极；所述电压控制模块产生外部电压，经引出导线传送到引出电极上，再经过...
- 李艳宁胡春光唐洁赵倩云王忠顺宋丽薇肖松山傅星胡小唐
- 文献传递
- 提高液体中AFM微悬臂梁品质因数的研究
- 2004年
- 提出了一种能够把在液体环境中工作的原子力显微镜(AtomicForceMicroscopy)的微悬臂梁的低品质因数提高二个数量级的方法.这是通过一个正反馈环路实现的,同时采用一个锁相环(PhaseLockLoop)来监控微悬臂梁谐振频率并产生一个驱动信号.使用可变移相器和可变增益放大器对微悬臂梁振荡信号进行调节,调节后的信号也加入到驱动信号中.从而提高了原子力显微镜的动态力灵敏度和分辨力.
- 房轩李艳宁王艳霞唐洁傅星胡小唐
- 关键词：原子力显微镜微悬臂梁品质因数表面形貌锁相环
- 脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
- 阐述脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构井具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之...
- 李艳宁唐洁胡小唐张国雄
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀
- 文献传递
- 脉冲激光MEMS加工技术被引量：4
- 2003年
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统 (MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米 /亚微米加工精度 ,且适用于多种材料 ,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到之处。进一步阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光 LIGA技术。
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀集成电路
- 脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到...
- 李艳宁唐洁胡小唐张国雄
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀
- 文献传递
- 压电微悬臂梁传感技术的研究
- 原子力显微镜的发明和发展提供了一种高灵敏度的传感器件-微悬臂梁。微悬臂梁有两种工作模式，即弯曲模式和共振模式。弯曲模式测量微悬臂梁在外力作用下的静态形变，共振模式测量微悬臂梁共振频率的变化。理论上，微悬臂梁的共振频率与其...
- 唐洁
- 关键词：微悬臂梁压电薄膜微弱信号检测
- 文献传递
- 微悬臂梁谐振技术检测溶液粘度的研究被引量：5
- 2005年
- 提出了一种测量溶液粘度的微悬臂梁谐振技术。推导了溶液粘度与微悬臂梁的谐振频率的理论关系式,并利用原子力显微镜的微悬臂梁测量了不同质量分数的甘油溶液和蔗糖溶液的粘度。与落球法测量结果的比较表明,利用微悬臂梁谐振频率技术测量液体粘度的误差小于4%。这种方法不仅可以作为液体粘度的一般性测量方法,也可以通过检测溶液粘度变化来监测溶液中的化学反应。
- 李艳宁唐洁饶志军傅星胡小唐
- 关键词：粘度微悬臂梁谐振频率原子力显微镜
- 脉冲激光微加工技术在MEMS中的应用被引量：9
- 2005年
- 介绍了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用。脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术(光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等)相比具有其独到之处。阐述了基于激光烧蚀的脉冲激光直接微加工技术、激光-LIGA技术、激光辅助沉积与刻蚀技术以及MEMS的激光辅助操控及装配技术。
- 李艳宁唐洁胡小唐张国雄
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀
- 一种新型STM纳米计量仪被引量：2
- 2004年
- 阿贝(Abbe)误差作为纳米计量中的主要误差之一限制着测量精度的提高,故提出了一种新型STM纳米计量仪器,采用3个微型激光干涉仪与STM联用.微型激光干涉仪用来测量探针相对于样品在3个方向上空间位移.与其它STM纳米计量仪器相比,该仪器扫描部分放弃了传统管式扫描器和三角架扫描器,将扫描分为Z向和X Y平面扫描两部分,Z向扫描由独立的PZT驱动,X Y扫描由两个PZT驱动的柔性平行四杆导轨完成.这种设计理论上能使Z方向上Abbe误差完全消除,X Y方向上Abbe臂缩小到扫描范围的一半,最大50μm,使Abbe误差减小至可忽略的程度.微型激光干涉仪的使用还消除了扫描器PZT的非线性、滞后、爬行和老化等误差.
- 李艳宁饶志军唐洁宋晓辉胡晓东付星胡小唐
- 关键词：扫描隧道显微镜柔性铰链激光干涉仪
- 脉冲激光MEMS加工技术
- 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅和面硅加工技术等相比具有其独到...
- 李艳宁唐洁饶志军宋晓辉胡晓东傅星胡小唐
- 关键词：脉冲激光微机电系统激光烧蚀激光微加工
- 文献传递
