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张书生

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：华南理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇电感耦合
  • 1篇等离子
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体源
  • 1篇电子特性
  • 1篇智能化
  • 1篇数学模型
  • 1篇探针
  • 1篇朗谬尔探针

机构

  • 2篇华南理工大学

作者

  • 2篇张书生
  • 1篇杨英杰
  • 1篇于继荣
  • 1篇黄光周
  • 1篇梁迪众

传媒

  • 1篇真空与低温

年份

  • 2篇1998
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
高密度等离子体源数学模型及智能化朗谬尔探针的研究
刻蚀是微电子技术的基础关键技术之一,而电感耦合等离子体源是90年新出现的等离子本刻蚀工具,其特点是高密度、高均匀性和低损伤.探讨电感耦合等离子体源的基本性质与原理,并诊断其相应的参数,对改进刻蚀工艺,提高产品的质量至关重...
张书生
关键词：电感耦合智能化探针
高密度等离子体源的新发展被引量：6
1998年
介绍了几种高密度等离子体源，重点叙述了新近出现的电感耦合等离子体源ＩＣＰＳ。说明了ＩＣＰＳ的基本原理、结构特点、电磁场分布的数学模型等。还简单介绍了其应用前景和目前存在的问题。
黄光周张书生于继荣梁迪众杨英杰
关键词：电感耦合等离子体源电子特性
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共1页<1>
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