李锁印
- 作品数：130 被引量：69H指数：5
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：天津市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于白光干涉仪台阶高度测量的不确定度分析
- 介绍了一种基于白光干涉仪测量台阶高度的方法.首先,介绍了白光干涉的原理;其次,对台阶高度的定义及其表征方法进行了论述,依据该方法,使用白光干涉仪对VLSI的型号为SHS-9400QC的样块进行测量;最后,对影响测量结果的...
- 冯亚南李锁印韩志国赵琳
- 关键词：测量值不确定度白光干涉仪
- 矢量网络分析仪S参数测量不确定度的确定方法
- 本发明公开了一种矢量网络分析仪S参数测量不确定度的确定方法，涉及矢量网络分析仪的校准方法技术领域。所述方法通过MCM仿真实现，避免了使用GUM法评定不确定度时需要考虑S参数间相关性的问题和使用经验算法得到的不确定度不完善...
- 韩志国梁法国栾鹏吴爱华李锁印孙晓颖冯亚南许晓青
- 文献传递
- 接触式台阶仪探针检测图形样块
- 本发明公开了一种接触式台阶仪探针检测图形样块，涉及台阶仪测量技术领域，包括探针性能检查图形和扫描位置检查图形，探针性能检查图形设计成W型和M型分布在样块左右两个扫描区域，M型和W型台阶结构线条分别与水平方向呈30°、60...
- 李锁印冯亚南韩志国赵琳许晓青吴爱华
- 可焊性试验台的校准及不确定度分析
- 性试验台是一种热学的专用测试设备,主要用来测定那些在连接时要用低熔点焊接的器件引线的可焊性,以及确定元件承受由焊接元件引线端头产生的热应力的能力.文章给出了对可焊性试验台的温度和夹具速度进行校准的方法,并给出了测量不确定...
- 赵琳梁法国李锁印许晓青赵革艳
- 关键词：校准方法技术指标测量不确定度
- 标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板
- 本申请适用于微电子计量技术领域，提供了一种标准样板定值方法、装置、终端设备及标准样板。该方法包括：获取制备得到的标准样板的特征图像；其中，标准样板为刻蚀有多个镂空柱状结构的晶圆，特征图像包括镂空柱状结构对应的底面图像；在...
- 张晓东赵琳韩志国李锁印徐森锋许晓青张家欢吴爱华
- 基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨被引量：2
- 2021年
- 为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法。首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核。其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法。最后,使用自行研制且经过溯源的线距标准样片对扫描电镜在100K倍下的示值误差进行了校准实验,结果表明:自行研制样片的指标可以达到校准电镜的要求,被校电镜的示值误差在2%的范围以内,校准方法有效。
- 赵琳张晓东李锁印韩志国吴爱华
- 关键词：扫描电镜半导体工艺校准方法
- 超薄二氧化硅薄膜样片的定值方法及制备方法
- 本发明适用于半导体技术领域，提供了一种超薄二氧化硅薄膜样片的定值方法及制备方法。该定值方法包括：将衬底在清洗液中清洗；在清洗后的所述衬底的上表面生长厚度小于10纳米的二氧化硅薄膜；选取定值区域，在所述定值区域选取n个测量...
- 韩志国梁法国李锁印赵琳冯亚南许晓青
- 文献传递
- 纳米级线宽标准样片的设计与制备被引量：4
- 2021年
- 介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm~200nm的线宽样片。以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线宽均匀性和稳定性进行了考核。结果表明,标称值50nm~200nm的样片线宽值与设计值基本一致,线边缘粗糙度为1.9nm~2.0nm、均匀性为1.7nm~1.9nm,稳定性为0.06nm~0.6nm。
- 韩志国李锁印冯亚南赵琳吴爱华
- 关键词：电子束线边缘粗糙度均匀性稳定性
- 复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法
- 本发明提供了一种复合型高深宽比沟槽标准样板及制备方法，属于微纳米计量技术领域，包括具有深度和宽度尺寸的沟槽结构、正交扫描定位结构、切片定位结构、定位角结构以及沟槽定位结构；正交扫描定位结构、切片定位结构以及沟槽定位结构均...
- 赵琳李锁印梁法国邹学锋冯亚南韩志国张晓东许晓青吴爱华
- 文献传递
- 纳米台阶高度标准样块的研制与评价被引量：5
- 2016年
- 介绍了纳米台阶高度标准样块的用途及国内研制样块的情况,设计了纳米台阶高度样块的结构和制作工艺流程,制作了高度20nm^100nm的样块。以20nm、50nm、100nm为例对样块的台阶高度、台阶上下表面平行度、台阶测量区域的粗糙度、均匀性、稳定性进行了考核。结果表明,研制的样块台阶高度与设计值基本一致,稳定性好,与美国VLSI公司的相同高度的台阶高度标准样块相比,本文制作样块的平行度、粗糙度、均匀性与VLSI样块评价测量结果一致。
- 冯亚南李锁印韩志国赵琳许晓青
- 关键词：平行度粗糙度均匀性稳定性
