王正鑫
- 作品数：8 被引量：10H指数：1
- 供职机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省高校优势学科建设工程资助项目国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学电子电信更多>>
- 金刚石微铣刀头图形化法的制备研究被引量：1
- 2010年
- 微细铣削加工技术是具有较高相对精度的精密三维微小零件的制造技术,微零件尺寸和精度在很大程度上依赖于微切削刀具的切削性能。CVD金刚石膜作为一种具有众多卓越特性的功能材料,是制造新型超硬微铣刀的优越刀具材料。本文开展了硅微模具图形化法沉积金刚石膜微铣刀头的实验研究,成功制作了特征尺寸为25μm、50μm和100μm双层金刚石微铣刀头。SEM,ADE等分析结果表明采用的工艺能够获得表面质量好、形状和尺寸精度很高的金刚石微铣刀头,该工艺能够实现批量制造,是制作金刚石微铣刀的理想方法。
- 朱良杰卢文壮徐锋左敦稳王正鑫张敏
- 关键词：CVD金刚石
- SCDD及CDC制备装置
- 一种SCDD及CDC制备装置，它包括底座（2）和钟罩（12），钟罩（12）安装在底座（2）上并形成一个真空保护腔（30），其特征是在所述的真空保护腔（30）中安装有反应管（13），反应管（13）中安装有放置反应试样的工作...
- 卢文壮王正鑫黄群超左敦稳孙玉利徐锋艾国平陈瑶光蔡文俊冯森左杨平
- 纳米化学气相沉积金刚石的拉曼光谱被引量：9
- 2013年
- 拉曼光谱是研究化学气相沉积(CVD)金刚石最有效的手段之一。对不同晶粒尺寸的CVD金刚石膜进行了拉曼光谱分析。紫外拉曼光谱的检验表明,紫外光激发的拉曼光谱有效抑制了sp2碳的散射和荧光背景;1140cm-1峰出现在可见光拉曼光谱的原因是反聚乙炔的增多和sp2碳散射的增强。可见光拉曼光谱检测发现随着晶粒的减小,1140cm-1和1460cm-1峰强度增强,金刚石特征峰强度降低同时其半峰全宽(FWHM)变宽,薄膜中sp3碳含量减少;基体材料由硬质合金变为微米金刚石后,金刚石特征峰强度显著增加,FWHM有较大减小,非sp3碳成分含量明显减少。
- 薛海鹏卢文壮孙达飞王浩王正鑫左敦稳
- 关键词：激光技术拉曼光谱
- 金刚石膜生长电极弹性张紧装置
- 一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板（5）和衬底工作台（21），其特征是所述热丝（20）的两端固定在对应的左钼电极（2）和右钼电极（3）中，所述的左钼电极（2）和右钼电极（3）分别安装在对应的左弹性支架（1）和右弹...
- 卢文壮左敦稳王正鑫王晗徐锋孙玉利王品付吴一帆伏广宇
- 文献传递
- SCDD及CDC制备装置
- 一种SCDD及CDC制备装置，它包括底座（2）和钟罩（12），钟罩（12）安装在底座（2）上并形成一个真空保护腔（30），其特征是在所述的真空保护腔（30）中安装有反应管（13），反应管（13）中安装有放置反应试样的工作...
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- 文献传递
- 选择性刻蚀碳化硅制备金刚石的研究
- 2013年
- 在高温下Cl2+H2体系可促使SiC转化为金刚石。论文从热力学角度分析了Cl2选择性刻蚀SiC制备金刚石时,Cl2和H2对sp2、sp3杂化形式的C-C键的作用机制,从理论上推导了SiC转化为金刚石的气源中Cl2、H2比例范围。建立了SiC结构向金刚石结构转变时形成金刚石团簇的理论模型,根据该模型解释了SCDD膜的增厚机制。
- 王正鑫卢文壮黄群超王晗胥军左敦稳
- 关键词：金刚石碳化硅氯气热力学选择性刻蚀
- SCDD膜的生长机理及制备实验研究
- 金刚石因其优异的性能而备受人们关注。相对于低压气相沉积和高温高压制备金刚石技术，选择性刻蚀法制备碳化硅衍生金刚石(Silicon Carbide Derived Diamond，简称SCDD)是一项极具吸引力的技术，它具...
- 王正鑫
- 关键词：金刚石膜选择性刻蚀氯气
- 文献传递
- 金刚石膜生长电极弹性张紧装置
- 一种金刚石膜生长电极弹性张紧装置，包括底板（5）和衬底工作台（21），其特征是所述热丝（20）的两端固定在对应的左钼电极（2）和右钼电极（3）中，所述的左钼电极（2）和右钼电极（3）分别安装在对应的左弹性支架（1）和右弹...
- 卢文壮左敦稳王正鑫王晗徐锋孙玉利王品付吴一帆伏广宇
