蒲继祖
- 作品数：6 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 非接触间隙检测
- 2014年
- 基于光的分振幅干涉原理,用激光做光源,自行设计了用于接触或接近式曝光工艺中掩模板与基片间的间隙均匀性检测装置,通过实际运用,达到理想效果。
- 贾亚飞蒲继祖张云鹏
- 关键词：非接触
- 用于晶圆刷洗的同心卡接机构设计
- 2017年
- 在CMP后清洗工艺过程中,往往需要对机刷进行快速更换。针对以上需求,设计了一种用于晶圆刷洗的同心卡接机构,很好地解决了机刷更换过程同心度存在偏差及更换不便的问题,改善了晶圆表面清洗的效果。
- 陶利权熊朋蒲继祖李嘉浪费玖海
- 非平面直写式光刻电控系统的研究
- 2015年
- 阐述一种非平面直写式光刻的电控系统、工作原理及组成,通过高效的控制方法,提高控制精度,实现工艺要求。
- 张云鹏谢秀镯宋波蒲继祖
- 关键词：PID算法伺服系统
- LTCC精密丝网印刷机概述被引量：1
- 2009年
- 介绍了低温共烧陶瓷(LTCC)技术,并针对其核心设备—LTCC精密丝网印刷机的机械结构和采用的关键技术作了简明扼要的阐述。
- 张建亮赵立华王洪宇蒲继祖
- 关键词：低温共烧陶瓷丝网印刷线性电机
- 微小孔近场衍射光强的空间分布及仿真
- 2012年
- 阐述了微小孔近场衍射的基本理论。重点对单色光垂直入射时圆孔衍射场的光强空间分布进行了计算机数值模拟。通过对不同半径圆孔的衍射场光强进行仿真,分析得到了衍射场光强的空间分布特性。对接近式曝光技术参数的设定具有理论指导意义。
- 贾亚飞蒲继祖
- 关键词：微小孔
- ZEMAX软件在曝光光源设计中的应用
- 2012年
- 以光学设计软件ZEMAX为依托,结合曝光光源设计思路,并以实例展示设计方法和描述它的实用性,利用ZEMAX计算机辅助设计分析了曝光光源的鬼点。
- 蒲继祖
- 关键词：计算机辅助设计
