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袁章其

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇科技成果
  • 1篇专利

领域

  • 4篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇U
  • 1篇点火炉
  • 1篇电路
  • 1篇电路制造
  • 1篇电热
  • 1篇电热炉
  • 1篇热工
  • 1篇热工设计
  • 1篇接嘴
  • 1篇扩散
  • 1篇火焰传感器
  • 1篇集成电路
  • 1篇集成电路制造
  • 1篇高指标
  • 1篇管式
  • 1篇硅衬底
  • 1篇感器
  • 1篇高温扩散
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体材料

机构

  • 4篇信息产业部
  • 2篇电子工业部

作者

  • 6篇袁章其
  • 2篇罗卫国
  • 2篇蒲勇
  • 1篇罗亮
  • 1篇伍波
  • 1篇向小龙
  • 1篇张勇
  • 1篇彭筱玲
  • 1篇曾晓斌
  • 1篇谢建国
  • 1篇袁勇

传媒

  • 3篇微细加工技术

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 2篇2000
  • 1篇1999
  • 1篇1993
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
外燃式氢氧合成氧化装置
本实用新型涉及外燃式氢氧合成氧化装置，其主要结构是，合成腔4的一端与工序管5连通而另一端为带接嘴7的管式氧气进气腔2，该腔2中有带接嘴8的管式氢气进气腔9且腔9的排气口11位于腔2中，腔9中置有装在外壳10中的热电偶1，...
袁章其
文献传递
氢氧合成氧化的部件设计被引量：1
1999年
介绍了氢氧合成氧化工艺的优越性，基本机理，以及如何根据工艺要求、硅片的几何尺寸。
袁章其
关键词：VLSI
透明电热炉的热工设计
1993年
本文简述了透明电热炉的原理、基本特性及几种主要材料的选择,并引出了一些基本热工设计计算方法。最后,简介了研制结果和使用情况。
袁章其
关键词：电热炉热工设计
M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统
张勇袁章其罗卫国向小龙蒲勇彭筱玲伍波袁勇罗亮谢建国曾晓斌
该项目为M5113-3A/UM型高温扩散氧化系统的研制，任务属于横向任务，是根据用户信息产业部电子第十八研究所的要求而研制的，系统采用了先进的外燃式氢氧合成工艺手段。氢氧合成利用了氢气气体在585℃着火的特点。系统在反应...
关键词：
关键词：扩散
M8611-1/UM型液相外延系统
袁章其
该系统的特点是：自动化程度高：整个工艺过程由计算机控制，包括随工艺时间变化的反应室的真空度、气氛、温度、衬底的位置等。工艺操作由计算机指挥机械手完成：机械手运动、定位精度高，均小于0.1mm；运动，采用了直线滚动导轨副；...
关键词：
关键词：半导体材料
液相外延系统中高指标热场的实现
2000年
高精度、高稳定性、高降温速率的热场 ,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。
袁章其罗卫国蒲勇
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共1页<1>
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