邵鹏
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>
- 基于蒙特卡罗方法的光固化模拟
- 2008年
- 采用蒙特卡罗方法分析了光子在树脂中的输运过程,建立了紫外光单点固化模型,并进行了单点固化过程的模拟计算,通过曝光固化实验验证了该算法的可靠性.理论模拟和实验结果表明,当曝光能量达到临界值,固化点的高度和直径随曝光时间、功率的增大呈对数关系增大.利用该算法可以模拟各种不同光强分布的曝光固化过程,为加工分辨率的提高和工艺参量的优化提供理论基础.
- 裴香涛王翔邵鹏黄文浩
- 关键词：微细加工光固化蒙特卡罗数值模拟
- 微细光束固化的蒙特卡罗建模被引量：1
- 2008年
- 光固化是光束与光敏树脂之间的光化学反应,其作用过程对光固化加工分辨率有着直接影响。基于光子输运理论,利用蒙特卡罗方法追踪光子在树脂中的运动轨迹,对曝光光束入射、传输过程进行抽样,建立了微细光束固化模型;利用遗传算法并结合光固化实验重构获得了树脂材料的光学参数;利用该固化模型,模拟计算了微细会聚紫外光束(λ=365nm)单点曝光固化过程和固化单元点的形状和大小,分析了不同曝光量对固化结果的影响规律,计算结果与实验结果一致。研究表明,该模型可以有效地对微细光束与光敏树脂作用的复杂过程进行仿真,并能对不同入射光和曝光工艺条件下的固化物进行模拟计算,为微细光固化机理的研究和工艺优化提供了基础。
- 王翔裴香涛邵鹏黄文浩
- 关键词：微细加工光固化蒙特卡罗法
