您的位置： 专家智库 > >

韩小亮

作品数：2 被引量：26H指数：2
供职机构：西安电子科技大学微电子学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压力传感器
  • 2篇碳化硅
  • 2篇力传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇高温压力传感...
  • 1篇半导体
  • 1篇SIC薄膜

机构

  • 2篇西安电子科技...

作者

  • 2篇李跃进
  • 2篇朱作云
  • 2篇韩小亮
  • 1篇杨银堂
  • 1篇柴常春
  • 1篇贾护军

传媒

  • 1篇传感器技术
  • 1篇西安电子科技...

年份

  • 2篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
SiC薄膜高温压力传感器被引量：16
2001年
SiC是制造高温半导体压力传感器的理想材料。介绍了在Si衬底上外延生长 3C -SiC薄膜和用它制作的SiC高温压力传感器 ,并对研制结果进行了分析。简单介绍了其它几种SiC压力传感器的特点、结构和制作方法。
朱作云李跃进杨银堂柴常春贾护军韩小亮王文襄刘秀娥王麦广
关键词：压力传感器碳化硅
高温半导体压力传感器技术被引量：12
2001年
介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状 ,论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术 ,比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点 。
韩小亮朱作云李跃进
关键词：压力传感器碳化硅半导体
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0