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刘澂
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院物理研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
理学
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合作作者
纪爱玲
中国科学院物理研究所
马利波
中国科学院物理研究所
王永谦
中国科学院物理研究所
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王永谦
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刘澂
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纪爱玲
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1篇
2004
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纳米Si-SiO_x和Si-SiN_x复合薄膜的低温制备及其发光特性
被引量:7
2004年
用等离子体增强化学气相沉积法在低温 (低于 5 0℃ )衬底上沉积Si SiOx 和Si SiNx 复合薄膜 ,可得到平均颗粒尺寸小至 3nm的高密度 (最高可达 4 0× 10 1 2 cm- 2 )纳米硅复合薄膜 .5 0 0℃快速退火后 ,这种复合薄膜显现出优异的可见光全波段光致发光特性 .通过比较相同条件下所制备的纳米Si SiOx 和Si SiNx 复合薄膜的光致发光效率 ,发现纳米Si SiNx 具有更为优异的光致发光效率 。
纪爱玲
马利波
刘澂
王永谦
关键词:
光效率
发光特性
快速退火
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