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吴晓斌

作品数：122 被引量：35H指数：4
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：一般工业技术理学自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 112篇专利
  • 10篇期刊文章

领域

  • 9篇一般工业技术
  • 5篇自动化与计算...
  • 5篇理学
  • 3篇机械工程
  • 3篇电子电信
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 20篇分压
  • 17篇密封
  • 17篇极紫外
  • 15篇质谱
  • 14篇质谱计
  • 13篇真空
  • 13篇法兰
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱仪
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 12篇激光
  • 11篇污染
  • 11篇光刻
  • 10篇液滴
  • 10篇紫外光刻
  • 10篇金属
  • 9篇真空计
  • 9篇四极质谱仪
  • 9篇碎屑

机构

  • 122篇中国科学院光...
  • 4篇东南大学
  • 1篇中国科学院微...
  • 1篇兰州空间技术...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 122篇吴晓斌
  • 103篇王魁波
  • 96篇陈进新
  • 94篇王宇
  • 92篇罗艳
  • 85篇张罗莎
  • 38篇周翊
  • 35篇崔惠绒
  • 20篇张立佳
  • 11篇赵江山
  • 11篇刘斌
  • 8篇丁金滨
  • 8篇李慧
  • 4篇肖梅
  • 4篇王宇
  • 3篇齐威
  • 3篇沙鹏飞
  • 2篇张晓兵
  • 2篇鲍洋
  • 1篇李得天

传媒

  • 3篇真空科学与技...
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇真空与低温
  • 1篇真空
  • 1篇分析测试技术...
  • 1篇质谱学报

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 6篇2019
  • 16篇2018
  • 18篇2017
  • 30篇2016
  • 19篇2015
  • 11篇2014
  • 16篇2013
  • 2篇2012
共 122 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于极紫外光刻机的动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁，特别适用于极紫外光刻机。动态气体锁的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道侧面的隔板内有内气流通道，清洁气体...
陈进新崔惠绒张立佳谢婉露吴晓斌王宇
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一种质谱检出限的检测装置及其检测方法
一种高精度质谱检出限的检测装置及其检测方法，其中，所述检测装置包括，待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀；检测方法包括：以空气中稀有气体同位素浓度为检测目标，实现对高...
罗艳吴晓斌王魁波谢婉露张罗莎张立佳
一种用于激光光源的液态金属靶产生装置
本发明公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括：用于存储液态金属靶材料的储液箱，储液箱的底端与一个导管相连通；腔体，位于所述储液箱的下方，使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于...
王宇张罗莎吴晓斌陈进新王魁波罗艳谢婉露
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一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统
本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可...
王宇谢婉露吴晓斌张罗莎陈进新王魁波罗艳
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用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置
本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置，该真空密封装置包括密封壳体(2)、灌封胶(6)和封口装置(7)，密封壳体(2)具有腔室，该腔室具有侧壁和一个开口端，并用于容纳放气元件(1)；灌封胶(6)填...
王魁波张罗莎吴晓斌陈进新罗艳谢婉露周翊王宇
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一种矩形密封装置
本实用新型公开了一种真空环境中的矩形密封装置，该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7)，其中，矩形...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新罗艳谢婉露周翊王宇崔惠绒
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极紫外光刻反射式光学元件温控装置
本实用新型公开了一种极紫外光刻反射式光学元件温控装置，其包括测温单元、控制单元和冷却单元，冷却单元用于根据控制单元发出的控制命令可控地对极紫外光刻反射式光学元件进行冷却，冷却单元包括扩热板(22)、环路热管(23)、半导...
王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
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一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置
本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，装置包括密封壳体(5)和封口装置(7)，密封壳体(5)具有一个腔室(51)，腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；腔室(51)的内壁上形成有支承部(52...
王魁波张罗莎吴晓斌陈进新罗艳谢婉露周翊王宇
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一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统
本发明公开了一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统。本发明在所述碎屑的传播路径上依次设置能够主动使不带电的碎屑带电的加电装置和偏转电场，所述偏转电场能够使带电的碎屑的运动方向发生偏转后被收集。本发明的实施例中E...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波罗艳张罗莎王宇
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一种真空内局部加热方法
本发明公开了一种真空内局部加热方法，该方法包括如下步骤：提供需要在真空中进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)；将需要进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)表面进行清洁处理；加热丝(1)上穿上...
肖梅吴晓斌张晓兵王魁波王辉张罗莎
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