周文洪
- 作品数：22 被引量：44H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 碲镉汞微台面干法隔离的ICP技术研究
- 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是实现第三代碲镉汞红外焦平面探测器的关键工艺技术，主要用于双色、多色和雪崩光电二极管(APDs)等微台面列阵芯片的高占空比隔离。本研究选择高密度等离子体技术的ICP-RIE来实现碲镉汞微...
- 周文洪
- 关键词：碲镉汞刻蚀损伤电感耦合等离子体
- 带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法
- 本发明公开了一种带有增透会聚微镜的红外焦平面探测器及微镜制备方法，该探测器，包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和增透会聚微镜列阵。所说的增透会聚微镜列阵是由红外光敏元列阵芯片的衬底背面生长一增透膜，通过常规...
- 叶振华周文洪廖清君胡晓宁王晨飞丁瑞军
- 文献传递
- 红外焦平面深微台面列阵加工的光刻胶涂敷方法
- 本发明公开了一种红外焦平面深微台面列阵加工的光刻胶涂敷方法，它涉及光电探测器制造工艺技术。本发明采用先于红外焦平面探测芯片表面旋转涂敷一层AZ系列光刻胶的稀释剂以填充微台面列阵隔离深沟槽的底部大部分体积的物理空间，再在微...
- 叶振华周文洪尹文婷黄建马伟平胡晓宁
- 文献传递
- 双色红外焦平面研究进展被引量：19
- 2008年
- 介绍了叠层双色红外焦平面的发展背景和适用的材料体系,及其在国际上的发展现状,重点论述了叠层双色探测器结构类型及其探测特点,最后介绍了国内碲镉汞叠层双色焦平面的研究进展。报道了基于n-+p-P-P-N多层异质结Hg1-xCdxTe材料的叠层中波/短波(256×1)×2红外双色焦平面器件研制及性能。在77 K液氮温度下,红外焦平面探测器的两个波段的截止波长λc分别为2.8μm和3.9μm,中波/短波焦平面的平均单色探测率D*%p分别为1.8×1011 cmHz1/2/W和9.6×1010 cmHz1/2/W。
- 丁瑞军叶振华周文洪胡晓宁何力
- 关键词：红外焦平面碲镉汞
- 一种降低碲镉汞光伏器件离子注入损伤影响的方法
- 本发明公开了一种降低碲镉汞光伏器件离子注入损伤影响的方法。该方法是对离子注入后的碲镉汞样品进行光刻定义出氢离子处理区域，然后将样品置于氢离子氛围中进行处理；氢离子处理区域大小的确定是通过变面积方法来确定，自初始定义的离子...
- 乔辉周文洪叶振华蒋科贾嘉李向阳
- 文献传递
- 背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法
- 一种背向集成微透镜红外焦平面探测器及微透镜的制备方法，该探测器包括：红外光敏元列阵芯片、读出电路、混成互连铟柱和微透镜列阵。微透镜列阵是在红外光敏元列阵芯片的衬底背面直接通过微机械加工形成的。采用了记忆焦平面探测芯片正面...
- 叶振华周文洪胡晓宁王晨飞丁瑞军何力
- 文献传递
- 置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片
- 本发明公开了一种置于碲镉汞红外焦平面探测器芯片内部的微型滤光片，所述的探测器芯片由衬底、衬底上依次置有的缓冲层、响应红外目标辐射的光电二极管列阵组成。所述的微型滤光片是通过分子束外延原位生长在缓冲层和光电二极管列阵之间。...
- 叶振华何力胡晓宁周文洪吴俊巫艳丁瑞军
- 文献传递
- 集成双色红外焦平面探测器及其研究进展
- 本文简单介绍了集成红外双色焦平面探测器的发展背景和适用的材料体系，以及国内外的发展现状，重点论述了集成双色探测芯片的可行结构类型及其探测特点，进而详细分析了发展集成双色探测器拟解决的关键问题和实用化集成双色探测器的发展趋...
- 叶振华丁瑞军周文洪胡晓宁何力
- 关键词：红外焦平面探测器材料体系
- 碲镉汞光伏型探测器的氢化处理研究被引量：5
- 2007年
- 利用氢等离子体方法研究了氢化处理对碲镉汞光伏型红外探测器性能的影响,发现对ZnS介质层钝化的器件进行氢化处理后,器件的信噪比和零偏电阻有显著的改善.通过采取在氢化过程中进行光刻胶保护的方法,发现氢化作用主要发生在注入区域之外的P区一侧;通过SIMS测试分析发现氢化过程中H离子可以穿过ZnS层到达ZnS与碲镉汞的界面处.分析认为氢离子对ZnS和碲镉汞的界面产生钝化,降低了界面态密度,减弱了P型区的表面漏电,提高了PN结的击穿电压和结电阻,从而改善了器件的性能.
- 乔辉周文洪叶振华李向阳龚海梅
- 关键词：氢化钝化光伏探测器碲镉汞
- 砷掺杂基区n-on-p长波光伏碲镉汞探测器的光电特性被引量：1
- 2009年
- 报道了砷掺杂基区n-on-p长波碲镉汞平面结器件的电流电压特性、光谱响应特性,并同p型汞空位n-on-p长波碲镉汞平面结器件进行对比分析,发现砷掺杂基区长波器件的很多性能如优值R0A、电流响应率、黑体探测率都要优于汞空位基区长波器件。
- 刘斌周文洪李海滨邓屹胡晓宁
- 关键词：碲镉汞光伏探测器暗电流
