庞洁
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
- 本发明涉及一种悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字...
- 杨恒庞洁李昕欣王跃林
- 文献传递
- 一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究
- 2008年
- 研究了一种准LIGA加工工艺。该工艺利用无氰电铸制作金结构层,采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层,利用二氟化氙(XeF2)干法腐蚀对材料选择性好的特点,采用先部分封装然后腐蚀牺牲层释放结构的工艺流程,避免了封装工艺对可动敏感结构造成的破坏。研究了无氰电铸结构中的应力梯度,发现应力梯度存在随时间缓慢释放的现象,利用热退火消除了结构中的应力梯度。同时还对厚胶光刻、类特氟隆防粘附层制备等关键工艺作了探讨。
- 陆松涛俞正寅庞洁沈时强杨恒
- 关键词：微机电系统微电铸
- 悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
- 杨恒庞洁李昕欣王跃林
- 本发明涉及一种悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁-质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字...
- 关键词：
- 关键词：悬臂梁加速度传感器
- 一种新型数字式加速度传感器原理与设计被引量：2
- 2007年
- 建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化ΔT为1.0554μs.采用TTL电路进行检测,其分辨率可以达到0.01gn,满量程±10gn工作时,非线性度为1.23%.
- 庞洁Lukasz PakulaPaddy French杨恒王跃林
- 关键词：加速度传感器数字式吸合时间
- 悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
- 本发明涉及一种悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁-质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字...
- 杨恒庞洁李昕欣王跃林
- 文献传递
- 悬臂梁质量块结构吸合时间式加速度传感器研究
- 采用MEMS技术研制的加速度传感器，是基于硅工艺的最重要的传感器之一。但是由于寄生效应和吸合效应的影响，在进一步微型化、集成化方面会更加困难。
本论文研制一种新型数字式加速度传感器——吸合时间式加速度传感器，通过测...
- 庞洁
- 关键词：微电子机械系统吸合时间悬臂梁寄生效应
- 文献传递
