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彭本贤

作品数：13 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
发文基金：深圳市基础研究计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇超声
  • 5篇电容
  • 5篇电容式
  • 4篇声换能器
  • 4篇芯片
  • 4篇刻蚀
  • 4篇换能器
  • 4篇感器
  • 4篇超声换能器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇声表面波
  • 3篇声传感器
  • 3篇超声传感器
  • 2篇带宽
  • 2篇低噪
  • 2篇低噪声
  • 2篇电荷
  • 2篇电信
  • 2篇电信号

机构

  • 12篇中国科学院
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 13篇彭本贤
  • 9篇于峰崎
  • 5篇俞挺
  • 3篇孟龙
  • 3篇牛丽丽
  • 3篇郑海荣
  • 3篇周伟

传媒

  • 1篇集成技术

年份

  • 2篇2023
  • 2篇2022
  • 2篇2021
  • 1篇2019
  • 1篇2016
  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2008
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种实时超声刺激电信号记录芯片及其制备方法
本发明公开了一种实时超声刺激电信号记录芯片及其制备方法，该制备方法包括以下步骤：S1，在压电基底上制作叉指电极，得到声表面波芯片；并制作记录电极和电极引线S2，在S1得到的芯片上制作绝缘保护层，并对绝缘保护层处理形成记录...
孟龙周伟郑海荣牛丽丽林争荣彭本贤乌玛.儒可崔英健
电容式超声传感器芯片及其制作方法
本发明涉及一种电容式超声传感器芯片，其包括表面设有第一区域和第二区域的掺杂硅衬底；所述第一区域具有金属导电层延伸至第二区域的集成电路；所述位于第二区域的金属导电层上覆盖有附加膜，所述附加膜上覆盖有可导电的振动膜，所述附加...
俞挺彭本贤于峰崎
文献传递
一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用
本发明提供了一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用，所述电容式微机械超声换能器包括：第一组件以及第二组件，所述第二组件包括振动极板层和悬壁梁，所述第二组件中的振动极板层通过悬臂梁和第一组件相连，所述第二组件的振动极...
刘嘉俊彭本贤于峰崎
文献传递
低噪声电容式超声传感器的结构与电路设计被引量：2
2012年
本文提出了一种紧凑的可动浮栅型电容式超声传感器(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer,CMUT)器件结构和低噪声高频电路。该结构包含通常CMUT上下电极和MOS晶体管。建模对浮栅型CMUT器件进行了直流分析和时变电容的瞬态分析,模拟结果表明该传感器结构比传统CMUT具有更低的寄生电容和输出阻抗。在1.5Pa超声声压下进行Cadence和ANSYS仿真,输出信号为40.1mV,在1MHz等效输出噪声为16.59nV/Hz1/2,直流增益为74.73dB,单位增益带宽为488MHz。指标优于传统的CMUT结构,具有医学三维成像的应用前景。
彭本贤俞挺于峰崎
关键词：SPICE模型低噪声
基于人工结构的微米级声场生成装置及其制备方法
本发明涉及基于人工结构的微米级声场生成装置及其制备方法，所述基于人工结构的微米级声场生成装置包括声表面波芯片和耦合于所述声表面波芯片的至少一人工结构，所述声表面波芯片用于产生表面波声场，所述人工结构用于对所述声表面波芯片...
孟龙周伟郑海荣牛丽丽彭本贤刘晓峻程营刘文杰
一种超声换能器及其参数配置方法
本申请公开了一种超声换能器及其参数配置方法，其中，所述超声换能器参数配置方法包括：提供一个超声换能器，所述超声换能器包括：上电极、振膜、绝缘层、衬底；在所述衬底施加预设电压，所述衬底的电荷在所述预设电压的作用下隧穿至所述...
彭本贤刘嘉俊于峰崎
文献传递
高性能CMOS一氧化碳气体传感器的优化设计
无线传感器网络是以低成本、低功耗和大量布撒为最终目标。本课题目的是设计在CMOS芯片上集成CO气体传感器及电路;本论文拟从传感器采集信号的选择性、稳定性、低功耗、低噪声及CMOS工艺兼容性这几方面来研究。 利用...
彭本贤
关键词：CO气体传感器低噪声低功耗CMOS工艺环境自适应
文献传递
电容式超声传感器芯片及其制作方法
本发明涉及一种电容式超声传感器芯片，其包括表面设有第一区域和第二区域的掺杂硅衬底；所述第一区域具有金属导电层延伸至第二区域的集成电路；所述位于第二区域的金属导电层上覆盖有附加膜，所述附加膜上覆盖有可导电的振动膜，所述附加...
俞挺彭本贤于峰崎
文献传递
一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用
本发明提供了一种电容式微机械超声换能器及其制备方法和应用，所述电容式微机械超声换能器包括：第一组件以及第二组件，所述第二组件包括振动极板层和悬壁梁，所述第二组件中的振动极板层通过悬臂梁和第一组件相连，所述第二组件的振动极...
刘嘉俊彭本贤于峰崎
微测辐射热计红外探测器及其制备方法
本发明涉及一种微测辐射热计红外探测器的制备方法，包括下列步骤：步骤A，采用CMOS工艺制造信号处理电路，同时形成红外探测器单元半成品；步骤B，采用干法刻蚀工艺刻蚀红外探测器单元半成品，形成腐蚀窗口；步骤C，淀积保护层，并...
俞挺于峰崎彭本贤
文献传递
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