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文献类型

  • 8篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇离子束
  • 4篇低损耗
  • 4篇溅射
  • 4篇反射镜
  • 3篇栅极
  • 3篇离子
  • 3篇离子束溅射
  • 3篇离子束溅射沉...
  • 3篇激光
  • 3篇溅射沉积
  • 2篇等离子
  • 2篇镀膜
  • 2篇损伤阈值
  • 2篇陶瓷
  • 2篇离子源
  • 2篇绝缘陶瓷
  • 2篇激光损伤
  • 2篇激光损伤阈值
  • 2篇光学
  • 2篇光学薄膜

机构

  • 8篇中国航空工业...

作者

  • 8篇苏宇
  • 8篇刘希强
  • 4篇薛青云
  • 3篇任旭升
  • 3篇张爱民
  • 3篇王涛
  • 3篇李县洛
  • 2篇陈勇
  • 2篇张振辉
  • 2篇单凡
  • 2篇陈帛雄
  • 1篇王京献
  • 1篇刘新

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2015
  • 4篇2014
  • 1篇2013
  • 1篇2012
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
一种三片式椭圆栅极
本实用新型专利属于离子束沉积镀膜设备领域,是一种将Ar、N、O离子从放电室中拔出椭圆离子束的栅极。本实用新型包括顺次设置的接地栅极、加速栅极、束压栅极,三片栅极装配后孔孔同轴度小于0.02mm;各栅极上工作区域的栅极网孔...
任旭升刘希强苏宇王京献王涛李县洛
文献传递
一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法
本发明属于离子源技术,涉及一种悬浮式多爪栅极的注塞式绝缘紧固结构及装配方法。本发明中栅极表面具有蜂窝排布的小孔,栅极的外围为圆对称的悬浮式多爪结构,三片栅极间依靠这些悬浮爪进行紧固,采用螺杆贯穿式紧固结构固定三片栅极的每...
苏宇刘希强任旭升张爱民王涛
文献传递
一种低损耗反射镜
一种低损耗反射镜,其包括一反射镜基底(1),所述反射镜基底(1)上设置有高低折射率层相互交叠设置的规整四分之一工作波长高反射膜系(4)。其中,高折射率层(2)为奇数层,低折射率层(3)为偶数层,且高折射率层(2)比低折射...
刘希强苏宇薛青云
一种超光滑表面无损垂直装夹夹具
本实用新型属于光学薄膜掩膜技术,涉及一种超光滑表面无损垂直装夹夹具。所述超光滑表面无损垂直装夹夹具为一掩膜套,该掩膜套底部设置有用于镀膜的镀膜孔,侧壁内表面设置有与零件形状相匹配的凹陷,该凹陷对面的侧壁设置有用于安装顶丝...
刘希强苏宇张爱民刘新
文献传递
一种低损耗高可靠性反射镜
本发明涉及一种离子束溅射制备的激光陀螺使用的高可靠性反射镜。本发明是在纳米级石英基底上采用双离子束溅射沉积工艺交替镀制规整的四分之一工作波长TiO<Sub>2</Sub>/SiO<Sub>2</Sub>薄膜高反膜系,并在...
薛青云刘希强苏宇陈勇单凡李县洛陈帛雄张振辉
一种激光陀螺反射镜薄膜的镀制方法
本发明涉及一种激光陀螺反射镜薄膜的镀制方法,特别是关于一种在未达到埃量级超光滑基片上镀制高反射膜系的镀制方法。本发明激光陀螺反射镜薄膜的镀制方法通过采用离子束溅射沉积技术制备多层氧化物光学薄膜时,每镀完高折射率层(如高反...
苏宇刘希强薛青云
一种悬浮式多爪栅极组合及其装配方法
本发明属于离子源技术,涉及一种悬浮式多爪栅极的注塞式绝缘紧固结构及装配方法。本发明中栅极表面具有蜂窝排布的小孔,栅极的外围为圆对称的悬浮式多爪结构,三片栅极间依靠这些悬浮爪进行紧固,采用螺杆贯穿式紧固结构固定三片栅极的每...
苏宇刘希强任旭升张爱民王涛
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一种低损耗高可靠性反射镜
本发明涉及一种离子束溅射制备的激光陀螺使用的高可靠性反射镜。本发明是在纳米级石英基底上采用双离子束溅射沉积工艺交替镀制规整的四分之一工作波长TiO<Sub>2</Sub>/SiO<Sub>2</Sub>薄膜高反膜系,并在...
薛青云刘希强苏宇陈勇单凡李县洛陈帛雄张振辉
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共1页<1>
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