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黄云霞

作品数:1 被引量:0H指数:0
供职机构:西安电子科技大学更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇智能剥离技术
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子材料
  • 1篇SICOI

机构

  • 1篇西安电子科技...

作者

  • 1篇张永华
  • 1篇黄云霞
  • 1篇彭军

传媒

  • 1篇半导体情报

年份

  • 1篇2001
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
SiCOI制造技术
2001年
Si COI是一种新型的微电子 SOI材料 ,有望在高温、高频、大功率、抗辐射等电子学领域得到应用发展。本文介绍了近年来几种 Si
张永华彭军黄云霞
关键词:SICOI智能剥离技术微电子材料
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