您的位置： 专家智库 > >

黄琪

作品数：9 被引量：1H指数：1
供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院更多>>
相关领域：电气工程一般工业技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 4篇电气工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇等离子体
  • 5篇离子
  • 4篇射频
  • 4篇离子源
  • 3篇等离子
  • 3篇低温等离子体
  • 2篇等离子体技术
  • 2篇等离子体源
  • 2篇低能离子
  • 2篇低能离子束
  • 2篇低温等离子体...
  • 2篇低污染
  • 2篇电感耦合
  • 2篇电势
  • 2篇电势分布
  • 2篇悬浮电位
  • 2篇子体
  • 2篇离子能量
  • 2篇离子束
  • 2篇放电

机构

  • 9篇中国核工业集...

作者

  • 9篇黄琪
  • 8篇陈庆川
  • 5篇但敏
  • 5篇金凡亚
  • 3篇冯春堂
  • 3篇杨发展
  • 3篇陈伦江
  • 2篇赵哲
  • 1篇孙巍
  • 1篇耿少飞

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇2012全国...

年份

  • 4篇2023
  • 2篇2022
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 9 条 记 录，以下是 1-9
全选 清除 导出
排序方式：
一种脉冲调制射频气体离子源
本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种脉冲调制射频气体离子源，包括：安装法兰、引出电极、栅极绝缘环、等离子体放电腔、放电腔管、底端法兰、下端密封橡胶圈、底部端盖、气路、支撑杆、支撑杆绝缘套和引出电...
聂军伟陈庆川黄琪杨发展金凡亚但敏陈伦江
一种高效率低污染等离子体源
本发明属于等离子体源技术领域，具体涉及一种高效率低污染等离子体源，包括同轴放置的阴极、水冷阳极和磁轭底座，以及设于磁轭底座中心处的内磁钢、套装在内磁钢外的内屏蔽、磁轭底座的外沿上方固定安装的外磁钢和外屏蔽；所述的磁轭底座...
聂军伟陈庆川杨发展黄琪金凡亚但敏
大面积射频条形离子源研制
本文介绍了无灯丝、电感耦合的条形射频离子源。主要介绍了离子源引出系统的设计及实验结果。
黄琪陈庆川冯春堂李民久
关键词：射频感应耦合等离子体
文献传递
一种金属纳米团簇离子源
本发明涉及低温等离子体技术和薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种金属纳米团簇离子源，包括：金属靶、靶座陶瓷腔壁、磁钢、气路、阳极、地栅、金属靶脉冲电源和阳极电源；所述陶瓷腔壁为U型结构，陶瓷腔壁的开口端上固定有阳极，陶瓷腔...
聂军伟陈庆川黄琪金凡亚但敏陈伦江
一种电压隔离气路接头
本实用新型属于气体放电控制技术领域，具体涉及一种电压隔离气路接头。本实用新型包括送气螺旋柱、进气管一、进气管二、屏蔽罩、外罩，送气螺旋柱的两端，一端与外罩贴合，另一端与屏蔽罩贴合，外罩、屏蔽罩分别与进气管一、进气管二。本...
黄琪张帆李平川
射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究被引量：1
2013年
为了研究平面盘香形射频离子源等离子体放电特性,对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布。结果发现电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在放电室内距天线1 cm附近。对比电子的温度和离子密度分布,在低气压条件下,电子加热的区域和产生电离的区域是分开的,电子加热的区域出现在线圈附近,而最强的电离过程发生在双极性电势最高的位置附近。
聂军伟陈庆川黄琪冯春堂赵哲耿少飞
关键词：电感耦合等离子体数值模拟磁流体动力学
射频电感耦合离子源放电室内放电等离子体的二维磁流体模拟研究
对射频电感耦合离子源内的放电等离子体运用磁流体动力学建立二维磁流体模型进行数值模拟,得到了放电室内等离子体参数分布.电子由于受双极性电势的约束主要分布在放电室的中心,放电等离子体吸收能量的区域主要在天线下端放电室内距陶瓷...
聂军伟陈庆川黄琪冯春堂赵哲孙巍
关键词：磁流体发电等离子体放电特性
文献传递
一种高效率低污染等离子体源
本发明属于等离子体源技术领域，具体涉及一种高效率低污染等离子体源，包括同轴放置的阴极、水冷阳极和磁轭底座，以及设于磁轭底座中心处的内磁钢、套装在内磁钢外的内屏蔽、磁轭底座的外沿上方固定安装的外磁钢和外屏蔽；所述的磁轭底座...
聂军伟陈庆川杨发展黄琪金凡亚但敏
文献传递
一种网孔式多栅离子束引出装置
本发明属于低温等离子体薄膜材料制备技术领域，具体涉及一种网孔式多栅离子束引出装置，包括：网格栅、屏栅、加速栅、地栅、绝缘子A、绝缘子B、加速栅电源和屏栅电源；所述网格栅固定于屏栅的一侧面，加速栅通过绝缘子A固定于屏栅的另...
聂军伟陈庆川黄琪金凡亚但敏陈伦江
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0