孙海
- 作品数：9 被引量：39H指数：4
- 供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压...
- 李得天郭美如邱家稳李正海成永军冯焱张涤新赵光平孙海
- 文献传递
- 定容式流导法微流量校准装置被引量：13
- 2005年
- 定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 -11)Pa·m3 /s,合成标准不确定度为 0 .5 6 %～ 1.7%。
- 张涤新郭美如冯焱赵澜李得天赵定众李正海成永军李莉龚月莉孙海
- 关键词：流量计流量校准真空漏孔
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究被引量：9
- 2007年
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10-10 Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10-10 Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10-4～10-10)Pa,合成标准不确定度为1.5%～3.5%。
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- 关键词：超高真空极高真空校准装置
- 静态膨胀法校准压力的温度修正被引量：1
- 2005年
- 用传统方法计算静态膨胀法校准压力时,通常假设气体膨胀过程是等温的,但这与实际并不相符。考虑到气体温度变化,给出了对校准压力进行温度修正的方法。用一只满量程为133.3Pa的绝压式电容薄膜规(ACDG)进行了校准实验,当校准室的最大温度变化为0.05℃时,温度修正前后校准曲线的最大偏移量为0.16%。
- 孙海张涤新李得天成永军赵澜
- 关键词：真空校准静态膨胀法
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10<'-10>Pa的极高真空;采用的分流法真空规校...
- 李得天郭美如邱家稳李正海成永军冯焱张涤新赵光平孙海
- 关键词：超高真空系统校准装置
- 文献传递
- 电容薄膜规热流逸效应修正方法研究被引量：6
- 2009年
- 利用N2、He、Ar三种气体对三只电容薄膜规(CDG)在10-2Pa～102Pa的热流逸效应进行了研究,对实验数据进行拟合,得到每种气体在热流逸效应产生区间CDG示值压强的拟合公式,并用实验验证了公式的准确性。对实验数据和拟合公式的分析表明,CDG的校准因子在较高压强(>102Pa)下,趋近于一个与气体种类和校准室温度无关的极限值;在较低压强(<10-2Pa)下,趋近于一个与气体种类无关,与校准室温度有关的极限值;在这两者之间的压强范围,校准因子与气体的种类和校准室温度呈复杂的函数关系。
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- 关键词：温度
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10<'-10>Pa的极高真空;采用的分流法真空规校...
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- 关键词：真空校准极高真空超高真空真空规
- 文献传递
- 动态流导法真空校准装置被引量：14
- 2005年
- 动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1～5×10-7Pa,合成标准不确定度为0.69%～1.4%。
- 张涤新李得天冯焱成永军赵定众李正海郭美如赵澜李莉龚月莉孙海
- 关键词：真空标准真空校准真空规
- 分流法超高/极高真空校准装置性能研究
- 分流法超高,极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在 XHV 校准室获得了10Pa 的极高真空;采用的分流法真空规校准方法...
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- 关键词：超高真空极高真空校准装置
- 文献传递
