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徐敏浩

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路制造
  • 2篇硬件
  • 2篇硬件设备
  • 2篇阅读性
  • 2篇通信层
  • 2篇耦合性
  • 2篇逻辑层
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路制造

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇高士云
  • 2篇汤彩霞
  • 2篇徐华
  • 2篇邓俊辉
  • 2篇徐敏浩
  • 2篇邹龙庆

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种集成电路制造装备通用控制系统
本发明提出一种集成电路制造装备通用控制系统，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息；逻辑层装置，用于接收来自应用层装置的主机控制命令和配置信息，并根据配置信息和主机控制命令生成任务指令；通...
徐华高士云邓俊辉邹龙庆徐敏浩汤彩霞
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一种集成电路制造装备通用控制系统
本发明提出一种集成电路制造装备通用控制系统，包括：应用层装置，用于接收来自工厂主机的主机控制命令以及用户的配置信息；逻辑层装置，用于接收来自应用层装置的主机控制命令和配置信息，并根据配置信息和主机控制命令生成任务指令；通...
徐华高士云邓俊辉邹龙庆徐敏浩汤彩霞
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