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李鹏飞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院近场光学与纳米技术研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇扫描隧道显微...
  • 1篇双功能
  • 1篇化学腐蚀
  • 1篇光纤
  • 1篇光纤探针
  • 1篇光子扫描隧道...

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇潘石
  • 1篇张仁群
  • 1篇李鹏飞

传媒

  • 1篇电子显微学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
双功能弯曲光纤探针的制作
2006年
探针是所有扫描探针显微镜的关键部件。本文提出了一种采用普通单模光纤制作在原子力和光子扫描隧道组合显微镜（AF／PSTM）上使用的弯曲光纤探针的方法。通过合理的选择实验参数，经过热拉仲与化学腐蚀两个过程，得到弯曲部分的角度为110°～120°锥角约60°～80°的弯曲光纤探针。经扫描电镜观察，光纤探针的尖端直径小于100mm。此种方法加工光纤探针的成品率约70％左右。
张仁群潘石李鹏飞
关键词：光纤探针化学腐蚀原子力显微镜光子扫描隧道显微镜
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共1页<1>
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