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粱艳
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
河南工业大学设计艺术学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郜小勇
郑州大学物理工程学院
卢景霄
郑州大学物理工程学院
马姣民
郑州大学物理工程学院
林清耿
郑州大学物理工程学院
宁皓
郑州大学物理工程学院
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作者
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冯红亮
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张增院
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宁皓
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林清耿
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马姣民
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卢景霄
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粱艳
1篇
郜小勇
传媒
1篇
真空科学与技...
年份
1篇
2010
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氧化银薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响
被引量:5
2010年
保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比(OFR=[O2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜。利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究了薄膜的微结构对其反射率和透射率的影响。研究表明随着OFR的升高,氧化银薄膜呈现了从Ag+Ag2O多晶结构到Ag2O多晶结构的演变。薄膜的表面相应地呈现了从疏松的多孔结构到类金字塔结构的演变。较高的Ag2O含量和致密的表面形貌有利于薄膜可见和红外区的透光性,而较高的银含量和疏松的多孔结构则造成对光的强烈吸收,急剧地降低了薄膜的透射率和反射率。特别是在OFR为0.5条件下成功制备了具有(111)择优取向的Ag2O多晶薄膜,有效地将氧化银热分解的临界温度降低到200℃左右。
冯红亮
粱艳
郜小勇
林清耿
张增院
马姣民
卢景霄
宁皓
关键词:
直流反应磁控溅射
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