郭彤
- 作品数：131 被引量：209H指数：8
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于离轴显微干涉术的微结构测试系统及方法
- 一种基于离轴显微干涉术的微结构测试系统及方法，包括激光光源，在激光光源的输出光轴上设置有分光器件，在分光器件的一条光输出轴上设置有第一准直扩束器，第一准直扩束器的光输出轴上设置有分光棱镜，在分光器件的另一条光输出轴上设置...
- 曾雅楠胡晓东郭彤胡春光陈津平胡小唐
- 文献传递
- AFM电场诱导氧化加工作用的分析被引量：1
- 2003年
- 纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件 ,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分。为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解 ,本文对Si表面的电场诱导氧化作用进行了实验研究 ,包括探针与样品之间实际电压的监测、不同掺杂Si材料加工门槛电压的分析及探针扫描速率对氧化物高度的影响。实验分析表明 。
- 胡晓东郭彤傅星胡小唐
- 关键词：原子力显微镜AFM纳米加工技术
- 基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量被引量：6
- 2011年
- 提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫描所得信号会含有两组可分离的干涉条纹,利用Otsu方法实现双峰信号的自动分离。标准膜厚的测量实验表明,本文方法可以以nm级分辨力对符合可测条件的薄膜几何参数进行有效提取。
- 郭彤王瑞杰马龙陈津平傅星胡小唐
- 关键词：OTSU方法阈值表面形貌
- 利用AFM实现动态电场加工的研究
- 论文的主要研究内容：1）构建一套动态纳米加工系统,完成点、线结构的加工,开发辅助加工软件,对加工过程进行监控;2）分析外加动态信号下探针和样品间的电场分布情况,为AFM电场加工机理的分析提供理论依据;3）研究动态电场下A...
- 郭彤
- 关键词：扫描探针显微镜原子力显微镜
- 文献传递
- SPM电场加工纳米结构的评价方法
- 2004年
- 纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题.文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论.借助传统评价方法,结合纳米加工实际,提出了几个评价参数,并用于SPM加工方法的评价中,其中加工线宽是一个关键参数.与加工线宽相关的参数还包括直线度、线平行度、垂直度、倾斜度、加工高度及纵横比等.通过对AFM加工生成的线结构进行评价,说明了该方法的可行性.
- 郭彤胡晓东胡小唐
- 关键词：线宽扫描探针显微镜
- 基于白光扫描干涉术的非球面光学元件大范围评价方法被引量：1
- 2014年
- 通过白光扫描干涉术研究了用于非球面元件的大范围测量方法并利用纳米测量机(NMM)构建了测量系统。对系统的运行环境进行分析,定量给出了评定结果。在系统环境得以保证的前提下,重点研究了无重叠拼接方法,并将结果进行了对比;针对周期性非球面光学表面,提出通过白光倾斜扫描干涉法进行测量。扫描过程中,测试样品倾斜通过干涉区,消除了物镜视场的影响,使毫米量级表面一次扫描即可完成测量。针对扫描过程,分析了扫描过程中干涉条纹移出视场现象及双角度不一致对测量结果的影响。
- 马龙张鸿燕牛一凡郭彤
- 关键词：非球面光学元件
- 基于LM20测头的接触式干涉仪智能化改造
- 目前，大多数省级计量部门用于省内长度量块最高标准传递所使用的接触式干涉仪，均是六、七十年代设计生产的产品，存在诸多缺陷。本文介绍一种在稳定的机械结构基础上，用LM20测头代替原干涉仪测头，利用Delphi开发控制界面，建...
- 古耀达郭彤高顺民黄志斌
- 关键词：接触式干涉仪
- 文献传递
- 基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统与方法
- 本发明公开了一种基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统，包括光源单元、干涉单元、光路分光单元、监控单元、光谱成像单元和数据处理单元，该系统截取了透过狭缝的干涉光，在经过光栅后被分解成单色光，对成像于高速相机上的光谱图...
- 郭彤翁倩文赵冠华傅星胡小唐
- 文献传递
- 模糊控制在大载荷高精度液压控制系统中的应用被引量：11
- 2004年
- 在全尺寸采油工具综合参数检测与试验系统中,需要在全量程内对大载荷变化的液压系统进行高精度控制,常规的控制方式容易导致很大的控制偏差甚至超限.利用模糊理论,研制了适用于液压控制的模糊控制算法.在大庆油田两年多的实际应用证明,这种算法有效地避免了应用常规算法容易引起的控制量的振荡和过冲,提高了载荷施加的精度,在0～1000kN量程范围内,载荷的最大偏差为1kN,全量程控制精度优于0.2%.进而提高了井下采油工具检验和采油工艺试验研究数据的准确性和可信度,使该系统成为有实际应用价值的检验与试验研究系统.
- 傅星李梦超胡晓东郭彤胡小唐
- 关键词：模糊控制液压控制系统液压传动载荷采油工艺
- 一种不透明样品厚度测量系统及方法
- 本发明属于光学测量领域，涉及一种不透明样品厚度测量系统及方法。系统包括：SLD光源、光谱仪、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、第三光纤耦合器、参考端结构、测量端结构。所述第一光纤耦合器分别与所述SLD光源及所述光谱仪连接，...
- 郭彤许佩佩袁琳
