阳晓辉
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
- 供职机构：中国石化股份有限公司更多>>
- 发文基金：中国石油化工集团公司科技攻关项目更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 利用工业乙腈试制色谱纯乙腈被引量：4
- 2003年
- 工业乙腈经氧化、精馏、吸附等化学物理方法能获得色谱纯乙腈,产品质量达标,性能可靠,能满足高效液相色谱分析的要求。
- 阳晓辉
- 关键词：试制精馏
- 超净高纯乙腈的研制被引量：14
- 2004年
- 以工业乙腈为原料,采用干燥脱水-亚沸蒸馏-膜过滤组合工艺,制备出超净高纯乙腈,讨论了实验室洁净度、实验设备和器皿的材质、亚沸蒸馏次数、膜种类、膜孔径等因素对产品质量的影响。平行实验结果表明,在优化条件下,能够制备质量稳定的超净高纯乙腈产品,应用评价结果显示其清洗效果总体优于常规补充金属氧化物半导体级酸碱清洗液,可应用在半导体器件相应的清洗工艺中。
- 郑学根邱晓生王长明阳晓辉
- 关键词：高纯乙腈半导体
