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龚佑品

作品数：11 被引量：1H指数：1
供职机构：南京大学更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 9篇介质
  • 9篇介质薄膜
  • 5篇电学性能
  • 5篇栅介质
  • 4篇氧化铪
  • 4篇SUB
  • 3篇栅介质薄膜
  • 2篇电子领域
  • 2篇堆栈
  • 2篇堆栈结构
  • 2篇钝化
  • 2篇原子层沉积
  • 2篇栈结构
  • 2篇软化学
  • 2篇软化学法
  • 2篇水溶
  • 2篇水溶液
  • 2篇铁磁
  • 2篇氢溴酸
  • 2篇微电子领域

机构

  • 11篇南京大学

作者

  • 11篇龚佑品
  • 10篇吴迪
  • 10篇李爱东
  • 4篇刘晓杰
  • 2篇张俊龙
  • 2篇李辉
  • 2篇翟海法
  • 2篇闵乃本
  • 2篇李学飞
  • 2篇钱旭
  • 2篇孔继周

年份

  • 2篇2012
  • 3篇2011
  • 4篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种清洗钝化Ge衬底表面的方法
本发明公开了一种清洗钝化Ge衬底表面的方法，首先将锗衬底在丙酮、甲醇中依次超声清洗，然后将锗衬底移到5-20％(重量比)的氢溴酸水溶液中，室温下清洗3-15分钟，接着用高纯氮气吹干，再放入15-50％(重量比)的硫化铵水...
李学飞李爱东龚佑品翟海法李辉吴迪
一种GaAs基MOS器件的制备方法
本发明公开了一种GaAs基MOS器件的制备方法，首先对衬底进行清洗，之后用8~40%体积比的(NH<Sub>4</Sub>)<Sub>2</Sub>S水溶液浸泡10~40分钟进行钝化。然后用MOCVD沉积薄层Gd<Sub...
李爱东龚佑品刘晓杰吴迪
一种调控GaAs半导体与栅介质间能带补偿的原子层沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/HfO<Sub>2</Sub>方法
本发明公开了一种调控GaAs半导体与栅介质间能带补偿的原子层沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/HfO<Sub>2</Sub>方法，先将GaAs衬底清洗，去除油污和氧化层；再用(NH<Sub>4<...
龚佑品李爱东刘晓杰吴迪
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一种清洗钝化Ge衬底表面的方法
本发明公开了一种清洗钝化Ge衬底表面的方法，首先将锗衬底在丙酮、甲醇中依次超声清洗，然后将锗衬底移到5-20％(重量比)的氢溴酸水溶液中，室温下清洗3-15分钟，接着用高纯氮气吹干，再放入15-50％(重量比)的硫化铵水...
李学飞李爱东龚佑品翟海法李辉吴迪
文献传递
一种制备超薄HfO<Sub>2</Sub>或ZrO<Sub>2</Sub>栅介质薄膜的软化学法
本发明公开了一种制备超薄HfO<Sub>2</Sub>或ZrO<Sub>2</Sub>栅介质薄膜的软化学法，通过一种简便可行的工艺路线，成功地配制了具有较好稳定性与均匀性的氯化铪(锆)前体溶胶，此溶胶具有较长的保存寿命，...
龚佑品李爱东钱旭吴迪闵乃本
文献传递
一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法
本发明公开了一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法，其步骤是首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒；自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底，采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米...
李爱东孔继周龚佑品张俊龙吴迪
一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法
本发明公开了一种超高密度有序的磁性纳米颗粒复合薄膜的制备方法，其步骤是首先制备FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒；自组装含有的FePt/CoPt超顺磁纳米颗粒的非磁性衬底，采用原子层沉积技术在包含单层FePt/CoPt纳米...
李爱东孔继周龚佑品张俊龙吴迪
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高介电栅介质薄膜的原子层沉积技术制备、界面结构与电学性能研究
随着器件的尺寸持续缩小，发展与现存金属-氧化物-半导体场效应管(Metal-oxide-semiconductor field-effect transistors，MOSFETs)工艺兼容的栅介电薄膜制备技术，是微电子...
龚佑品
关键词：电学性能
一种调控GaAs半导体与栅介质间能带补偿的原子层沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/HfO<Sub>2</Sub>方法
本发明公开了一种调控GaAs半导体与栅介质间能带补偿的原子层沉积Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>/HfO<Sub>2</Sub>方法，先将GaAs衬底清洗，去除油污和氧化层；再用(NH<Sub>4<...
龚佑品李爱东刘晓杰吴迪
一种制备超薄HfO<Sub>2</Sub>或ZrO<Sub>3</Sub>栅介质薄膜的软化学法
本发明公开了一种制备超薄HfO<Sub>2</Sub>或ZrO<Sub>2</Sub>栅介质薄膜的软化学法，通过一种简便可行的工艺路线，成功地配制了具有较好稳定性与均匀性的氯化铪(锆)前体溶胶，此溶胶具有较长的保存寿命，...
龚佑品李爱东钱旭吴迪闵乃本
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