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刘世龙

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电路
  • 1篇电阻
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇集成电路
  • 1篇薄膜电阻
  • 1篇RC网络

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...
  • 1篇哈尔滨学院

作者

  • 1篇孙芳魁
  • 1篇刘世龙
  • 1篇万鹏程

传媒

  • 1篇哈尔滨师范大...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于RC网络集成电路的多晶硅薄膜电阻工艺优化
2008年
介绍基于RC[1]网络集成电路中的制作多晶硅电阻工艺和掺杂方法,并详细阐述了这种方法的工艺过程和控制方式.利用LPCVD方式制作多晶硅薄膜,可以得到很好的膜层均匀性和最佳的淀积速率,再利用POC l3进行高温掺杂[2],得到优化的电阻率,灵活改变各种参数,可使电阻的精度优于5%.
万鹏程刘世龙孙芳魁
关键词：多晶硅RC网络薄膜电阻
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共1页<1>
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