唐锋
- 作品数：217 被引量：106H指数：7
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项上海市自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
- 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法，测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机，测量时将待测光学元件置于准直物镜之后，并使光轴穿过待侧面的中心，测量步骤如下：①获取x方向和...
- 戴凤钊唐锋王向朝张敏
- 用于光刻机方镜面形检测的高精度子孔径拼接系统
- <正>光刻机是集成电路制造的核心设备,工件台作为光刻机的核心子系统之一,其定位精度直接影响了光刻机的套刻精度。在目前高端投影光刻机中,工件台方镜是工件台扫描定位反馈测量系统的重要组成部分,具有一维尺寸大、面形精度(特别是...
- 卢云君唐锋王向朝
- 文献传递
- 双点光源间距的纳米精度测量方法
- 一种双点光源间距的纳米精度测量方法，将面阵探测器放置在两个点光源下方，建立双点光源干涉场的数学模型，通过控制点光源的开闭并结合图像处理技术，获得点光源间距的粗测值，然后保持两个点光源均打开，采集两个点光源的干涉图，求解干...
- 董冠极唐锋王向朝冯鹏彭常哲
- 基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法
- 一种基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法，检测系统包含：波面测量干涉仪，球面参考镜、汇聚镜、工件台和安装插口，待测锥镜安装在工件台上，其轴线与干涉仪光轴平行，汇聚镜的焦点位于锥镜轴线上，波面测量干涉仪测量锥镜表面法线...
- 卢云君唐锋王向朝严焱
- 文献传递
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
- 文献传递
- 光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法
- 一种光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法，该方法利用的光栅横向剪切干涉仪包括剪切光栅，二维光电探测器；该方法采用光学追迹法获得光栅横向剪切干涉仪在二维光电探测器探测面各个像素的剪切量；将每个像素的剪切量带入表示差分波前...
- 唐锋王向朝彭常哲冯鹏
- 文献传递
- 位移台通用运动控制系统
- 一种位移台通用运动控制系统，包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、运动执行机构和可编程电平转换电路板，所述的上位机与运动控制器通信连接；该运动控制器的控制信号输出端与所述的电机驱动器的输入端相连；该电机驱动器的输出端...
- 郭福东王向朝唐锋
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- 对称式中继光学系统
- 一种对称式中继光学系统，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第三透镜、孔径光阑、第四透镜至第六透镜。该对称式中继光学系统采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判...
- 蔡燕民王向朝唐锋
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- 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪，包括光源、聚焦镜、滤波小孔、二维光栅、光栅位移台、光阑板、光阑对准位移台和二维光电传感器。本发明检测待测光学系统的波像差，当待测光学系统经过光源照射，其波前经过光栅分离和剪切产生干涉图，将多...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊吴飞斌李永
- 文献传递
- 平面面形绝对检验技术测量误差分析被引量：17
- 2011年
- 绝对检验消除了参考面面形误差对干涉测量精度的制约,可实现纳米精度的面形测量。对现有主要平面面形绝对检验技术进行了总结比较,运用泽尼克多项式前36项构建被测平面,对边缘噪声、平面原始精度、旋转角度与偏心误差等因素对典型平面面形绝对检验技术测量精度的影响进行了模拟分析。绝对检验对被测平面原始精度、干涉图分辨率和旋转角度误差不敏感,对边缘噪声和旋转偏心误差敏感。实际测量中,旋转轴心对准误差应小于2 pixel,测量中心面积比取95%左右。
- 徐洋唐锋王向朝徐静浩范李立程欣
