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寇锦

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇等离子体化学...
  • 2篇电感线圈
  • 2篇轻薄
  • 2篇微机电系统
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相沉积
  • 2篇机电系统
  • 2篇硅基
  • 2篇硅基底
  • 2篇UV-LIG...
  • 2篇电系统
  • 1篇数控
  • 1篇数控机
  • 1篇数控机床
  • 1篇球杆仪
  • 1篇机床

机构

  • 3篇大连理工大学

作者

  • 3篇寇锦
  • 2篇姜凤娟
  • 2篇尹嘉鹏
  • 2篇徐志祥

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2013
  • 1篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种在硅基底上制作多层微型电感线圈的UV-LIGA方法
本发明公开了一种在硅基底上制作多层微型电感线圈的UV-LIGA方法，其结合微机电系统MEMS，通过UV-LAIG工艺：光刻、显影、溅射、电铸工艺以及等离子体化学气相沉积PECVD技术制作截面直径为十几微米乃至几微米的微电...
徐志祥姜凤娟寇锦尹嘉鹏
文献传递
数控机床误差辨识与诊断新方法研究
数控机床误差辨识和误差诊断是验证机床综合性能的关键手段，其中误差辨识结果为误差补偿和校正提供理论依据，误差诊断结果为机床验收和定期检修提供科学判断。为此，本文基于球杆仪误差测量平台对机床误差辨识和误差诊断的方法作了相应的...
寇锦
关键词：球杆仪数控机床
文献传递
一种在硅基底上制作多层微型电感线圈的UV-LIGA方法
本发明公开了一种在硅基底上制作多层微型电感线圈的UV-LIGA方法，其结合微机电系统MEMS，通过UV-LAIG工艺：光刻、显影、溅射、电铸工艺以及等离子体化学气相沉积PECVD技术制作截面直径为十几微米乃至几微米的微电...
徐志祥姜凤娟寇锦尹嘉鹏
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