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岳彬
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叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法
叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法,属于金属氧化物半导体气敏元件技术领域。采用旁热式器件结构,以Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>陶瓷管为载体,外表面采用梳状式Au电极,敏感层为内敏感膜和外敏感膜叠...
裴素华
黄萍
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岳彬
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叠加式敏感层甲醛气敏器件及其制作方法
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