徐毓娴
- 作品数：51 被引量：325H指数：9
- 供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金浙江省自然科学基金博士研究生创新基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 虚拟仪器在测试技术中的应用
- 介绍了虚拟仪器和美国国家仪器公司的 LabView开发平台，及其在现代测试技术中的应用。并使用虚拟仪器技术对汽国情平稳性数据进行了笔现、存储和分析。该曲型开发和应用实例表明虚拟仪器具有开发效率高、调整方便快捷、信号分析处...
- 龙志峰白立芬徐毓娴李庆祥
- 关键词：信号采集信号处理虚拟仪器
- 基于图像处理的显微镜自动调焦方法研究被引量：109
- 1999年
- 自动调焦技术是提高显微镜测量精度的重要手段，本文介绍了采用图像处理法实现显微镜自动调焦的方法。对图像处理法实现显微镜自动调焦中的两个关键技术进行了详细的讨论：其一是图像清晰度评价函数的选取，文中采用绝对方差函数和修正平方梯度函数分别作为粗精调焦评价函数；另外还针对提高图像信息质量的方法进行了探讨，采用线性拟合与同态滤波方法进行图像处理，为离焦判断提供高质量的图像信号。实验表明，该方法调焦精度达±０．３μｍ 。
- 白立芬徐毓娴于水李庆祥
- 关键词：显微镜自动调焦图像处理
- 图像处理技术在形貌测量中的应用被引量：16
- 2001年
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量 。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词：图像处理形貌滤波
- 应用SSPDA单频激光干涉仪
- 1994年
- 本文介绍一种采用自扫描光电二极管列阵（ＳＳＰＤＡ）作为激光干涉条纹接收器的新型单频激光干涉仪。
- 薛实福李庆祥王伯雄徐毓娴于水
- 关键词：单频激光器干涉仪
- 透明体的光学定量测量被引量：4
- 2001年
- 综述了使用光学方法测量透明体的方法。介绍了两种常用的光学方法——相衬法和微分干涉相衬法。在 2 0世纪 80年代 ,一般认为相衬法和微分干涉相衬法只适用于定性观察而不能实现定量测量 ,主要是因为在其成像原理中的非线性因素的影响。但是对于微分干涉相衬法 ,最近国内外出现了几种定量测量的方法 ,本文对这几种方法进行了总结和比较。
- 张志利徐毓娴李文江
- 关键词：生物体
- 基于边缘和区域联合匹配的立体视觉新方法被引量：9
- 2001年
- 从二维图像恢复三维信息的立体视觉研究已经出现了许多基于边缘和基于区域的方法 ,但对硬件的要求制约着它们的实用性。本文提出了一种对边缘和区域进行联合匹配的算法 ,采用边缘信息进行粗糙匹配以提高处理速度 ,得到一系列匹配的可能位置作为精确匹配的初始值域 ;采用区域图像进行精确匹配 ,以得到更多的细节信息 ,而且其平均效应会减小高频噪声对运算的影响。建立的实验系统采用奔腾 133CPU、16兆内存、商用标准 CCD和采集卡 ,软件用 VC6 .0编制。模拟实验表明 ,系统运行正常 。
- 邱阳白立芬李庆祥徐毓娴
- 关键词：立体视觉
- 用透射式微分干涉相衬显微镜测量表面形貌的方法和装置
- 一种用透射式微分干涉相衬显微镜定量测量透明体表面形貌的方法和装置,属微观物体表面形貌测量技术领域。其特征是在常规透射式微分干涉相衬显微镜的主Nomarski棱镜与检偏器之间加入四分之一波片,并给检偏器加驱动装置,使其可以...
- 徐毓娴李庆祥李文江蔡昕董小满
- 文献传递
- 用于微器件装配的微操作系统被引量：11
- 1999年
- 微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析。
- 郑巍徐毓娴李庆祥
- 关键词：微器件微机械微操作系统
- 微器件装配系统总体方案研究被引量：3
- 1998年
- 微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。
- 郑巍徐毓娴李庆祥
- 关键词：微器件微装配操作手
- 微细图形几何尺寸测量的实验研究被引量：4
- 1993年
- 微细图形的几何尺寸测量是影响大规模集成电路生产效率和质量的重要问题。作者等在DXY-1型线宽轮廓测量仪上对与微细图形几何尺寸测量精度有关的因素进行了实验研究。实验结果表明,该仪器的重复测量精度优于±0.005μm,对比测量偏差△≤0.02μm。
- 李庆祥王伯雄薛实福徐毓娴
- 关键词：线宽集成电路
