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杨保
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天津理工学院
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曲长庆
天津理工学院
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2003
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金刚石压敏电阻压力传感器有限元分析
介绍用硅方膜作基底,掺硼刻蚀金刚石压敏电阻的方法制作压力传感器,而掺硼压敏电阻与硅基底的电绝缘,由一层未掺杂的金刚石薄膜获得.纵向排列的压敏电阻连接成惠斯顿电桥,传感器的桥电压与压力之间显示极好的线性关系.
孙伟
曲长庆
潘鹏
杨保
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有限元
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