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欧黎
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供职机构:
中国电子科技集团第二十六研究所
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
马晋毅
中国电子科技集团第二十六研究所
蒋欣
中国电子科技集团第二十六研究所
杨正兵
中国电子科技集团第二十六研究所
张涛
中国电子科技集团第二十六研究所
张龙
中国电子科技集团第二十六研究所
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欧黎
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马晋毅
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蒋欣
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一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法
本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法,该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜,底电极采用WSi材料制成,压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极...
欧黎
徐阳
江洪敏
司美菊
姜华男
张永川
马晋毅
龙飞
杜波
蒋欣
金成飞
田本朗
文献传递
声表面波信道化组件
声表面波信道化组件,包括底板、座体和上盖,其改进在于信道单元独立封装,信道单元底部设连接螺钉穿过座体用螺母固定于座体上;各信道单元的输入端子、输出端子穿过座体伸于下层多个独立隔离的空间内;信道化组件输入端口通过依次串联的...
黄广伦
欧黎
文献传递
微纳薄膜磁声天线
本发明公开了一种微纳薄膜磁声天线,包括底座,在底座上表面中部开设有空腔,在空腔底部和侧壁上以及底座上表面设有连为一体的绝缘层,在底座上表面绝缘层上设有支撑层,支撑层中部悬置于空腔之上;在支撑层上设有由磁致伸缩薄膜与薄膜体...
彭霄
欧黎
马晋毅
何晓亮
龙飞
毛世平
蒋欣
预设空腔型SOI基片薄膜体声波滤波器及制作方法
本发明公开了一种预设空腔型SOI基片薄膜体声波滤波器及制作方法,涉及微电子器件领域,滤波器由制作于预设空腔SOI基片上的多个薄膜体声波谐振器单元电学级联构成,谐振器包括压电薄膜、底电极和顶电极,SOI基片的衬底硅上表面设...
杨增涛
马晋毅
欧黎
冷俊林
杨正兵
赵建华
陈运祥
周勇
陈小兵
傅金桥
张龙
张涛
曹亮
一种基于太阳能热利用的集中式吸热装置
本发明公开了一种基于太阳能热利用的集中式吸热装置,包括真空腔、吸热装置及支撑结构,其中,所述真空腔上壁包括透光层,真空腔侧壁及下壁包括绝热层,吸热装置通过支撑装置安装在真空腔内,所述吸热装置包括多个横向并排设置的吸热板单...
汤劲松
桂进乐
叶锋
余怀强
邓立科
欧黎
胡爱民
文献传递
一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法
本发明提供一种压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜及其制备方法,该压电薄膜换能器用WSiAlN薄膜包括底电极以及位于底电极上的压电薄膜,底电极采用WSi材料制成,压电薄膜采用AlN材料制成。本发明通过采用WSi材料制成底电极...
欧黎
徐阳
江洪敏
司美菊
姜华男
张永川
马晋毅
龙飞
杜波
蒋欣
金成飞
田本朗
一种基于空地联合的太阳能光热发电系统
本申请公开了一种基于空地联合的太阳能光热发电系统,包括驻空聚光装置、地面光热耦合装置及发电装置,驻空聚光装置包括驻空部件及聚光部件,驻空部件用于使驻空聚光装置停留在空中,聚光部件用于将阳光聚拢为聚光光束并将聚光光束射向地...
汤劲松
桂进乐
叶锋
毛繁
成斌
欧黎
胡爱民
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微纳薄膜磁声天线
本发明公开了一种微纳薄膜磁声天线,包括底座,在底座上表面中部开设有空腔,在空腔底部和侧壁上以及底座上表面设有连为一体的绝缘层,在底座上表面绝缘层上设有支撑层,支撑层中部悬置于空腔之上;在支撑层上设有由磁致伸缩薄膜与薄膜体...
彭霄
欧黎
马晋毅
何晓亮
龙飞
毛世平
蒋欣
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预设空腔型SOI基片薄膜体声波滤波器及制作方法
本发明公开了一种预设空腔型SOI基片薄膜体声波滤波器及制作方法,涉及微电子器件领域,滤波器由制作于预设空腔SOI基片上的多个薄膜体声波谐振器单元电学级联构成,谐振器包括压电薄膜、底电极和顶电极,SOI基片的衬底硅上表面设...
杨增涛
马晋毅
欧黎
冷俊林
杨正兵
赵建华
陈运祥
周勇
陈小兵
傅金桥
张龙
张涛
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一种空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)的制作方法
本发明涉及一种空腔型薄膜体声波谐振器,包括一种带空腔SOI基片和设置其上的压电薄膜换能器构成。其特征为:所述带空腔SOI基片中的衬底硅片表面设置沟槽,键合后衬底硅片与顶层硅形成封闭的空腔结构;顶层硅上部设置换能器,换能器...
杨增涛
马晋毅
江洪敏
杨正兵
冷俊林
欧黎
傅金桥
赵治国
张涛
张龙
刘积学
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