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潘一鸣

作品数：13 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 2篇理学

主题

  • 8篇衍射
  • 6篇光学
  • 5篇衍射光学
  • 4篇衍射光学元件
  • 4篇熔融
  • 4篇熔融石英
  • 4篇数值孔径
  • 4篇普通玻璃
  • 4篇位相
  • 4篇光学元件
  • 4篇分辨率
  • 4篇成像分辨率
  • 3篇衍射效率
  • 3篇旁瓣
  • 2篇掩膜
  • 2篇透光
  • 2篇位相型
  • 2篇金属膜
  • 2篇焦距
  • 2篇光刻

机构

  • 13篇中国科学院微...
  • 1篇安徽大学

作者

  • 13篇谢常青
  • 13篇潘一鸣
  • 12篇刘明
  • 11篇朱效立
  • 9篇贾佳
  • 1篇万青松
  • 1篇陈军宁
  • 1篇吴秀龙
  • 1篇辛将

传媒

  • 1篇光电工程
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2013
  • 6篇2012
  • 2篇2011
  • 4篇2010
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种复合型波带片光子筛
本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制...
谢常青潘一鸣朱效立贾佳刘明
用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法
本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔...
谢常青潘一鸣朱效立贾佳刘明
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大高宽比光子筛及其制备方法
本发明公开了一种大高宽比光子筛及其制备方法。该大高宽比光子筛，包括衬底和光子筛柱。其中：衬底包括光子筛区域和边缘区域，边缘区域对预设波长的光不透明，光子筛区域除光子筛柱所在的区域外对预设波长的光透明；光子筛柱，为近似圆柱...
谢常青辛将朱效立潘一鸣刘明
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基于HSQ工艺的制作位相型光子筛的方法
本发明公开了一种采用HSQ工艺制作位相型光子筛的方法，该方法包括：A、制作第一光子筛掩膜版A和第二光子筛掩膜版B；B、在基片上涂HSQ胶，用第一光子筛掩膜版A对其进行光刻、烘干，并蒸发一层金属膜；C、用电化学腐蚀法去除H...
贾佳潘一鸣谢常青朱效立刘明
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一种方孔光子筛及其制作方法
本发明公开了一种方孔光子筛及其制作方法，所述光子筛包括透光衬底和镀在透光衬底上的不透光金属薄膜；所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述环带半径为r<Sub>m</Sub>、宽度为w<S...
谢常青潘一鸣朱效立贾佳刘明
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阵列位相环匀光器
2010年
基于衍射光学中的角谱理论,针对一种分布为同心3环、相位为0.9π,0和0.9π的结构进行深入分析,提出一种10×10的3环2值位相环阵列结构,并与二元光学中的10×10的菲涅尔波带片阵列结构进行比较,应用MATLAB软件仿真632.8nm激光器的高斯光通过二者后的效果。结果表明,阵列3环2值位相环对高斯光的匀光效果要明显优于阵列菲涅尔波带片,该阵列可以对激光束在远场的衍射光场进行修正,能较大地改善高斯光的匀光效果,在光均匀性要求较高的场合具有广泛的应用前景。
万青松谢常青贾佳潘一鸣刘明吴秀龙陈军宁
关键词：光束整形二元光学
采用HSQ工艺制作位相型二元衍射光学元件的方法
本发明公开了一种采用HSQ工艺制作位相型二元衍射光学元件的方法，该方法包括：A、制作二元衍射光学元件掩模版；B、在基片上涂HSQ胶，用所述掩模版对基片进行光刻，并烘干，蒸金属膜；C、采用电化学腐蚀法选择性去除基片上的金属...
谢常青潘一鸣朱效立刘明
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用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法
本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔...
谢常青潘一鸣朱效立贾佳刘明
一种复合型波带片光子筛
本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制...
谢常青潘一鸣朱效立贾佳刘明
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一种大口径成像光子筛及其制作方法
本发明公开了一种大口径成像光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述大口径成像光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上随机分布若干透光小孔，所述随机分布的透光小孔使得衍射光之间相互干...
朱效立潘一鸣谢常青贾佳刘明
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共2页<12>
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