王艳艳
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术电气工程更多>>
- MOCVD源化合物的制备与性能表征
- 金属有机物化学气相淀积(MOCVD)是近年来迅速发展起来的一种无机材料薄膜制备技术。因其具有淀积温度低、生长速率快、组成易于控制、薄膜质量好等突出优点，而广泛应用于包括半导体器件、光学器件、气敏元件、超导薄膜材料、铁电/...
- 王艳艳
- 关键词：金属有机物化学气相淀积红外吸收光谱
- 文献传递
- 单一混合固态源PE-MOCVD法制备YSZ薄膜及其表征被引量：1
- 2005年
- 采用等离子体增强的MOCVD技术,以均匀混合的金属β-二酮鳌合物固态源Y(DPM)3和Zr(DPM)4作为前驱物,在N iO/SDC多孔阳极和多孔-αA l2O3衬底上制备了氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜.研究了两种衬底对成膜过程和膜的结构以及微结构的影响,讨论了源区输运机制及薄膜生长动力学.XPS分析结果表明,薄膜中Y和Zr元素的摩尔比低于原始混合源中的Y和Zr元素的摩尔比,当混合源中的Y和Zr元素的摩尔比约为0.35∶1时,可以获得无定形态的8%YSZ薄膜,经高温焙烧转化为单一立方相,其晶粒大小约为100 nm,薄膜的生长速率约为7 nm/m in.
- 刘铭飞姜银珠高建峰王艳艳孟广耀
- 关键词：化学气相淀积微波等离子体
- MOCVD前驱物Fe(DPM)_3的制备与性能表征被引量：1
- 2006年
- 以FeCl3和四甲基庚二酮(HDPM)为原料,在醇/水混合溶剂中合成β-二酮金属有机化合物Fe(DPM)3。利用红外吸收光谱、元素分析、原子吸收光谱、差热-热重和质谱分析等技术,分析了Fe(DPM)3的结构、纯度、热稳定性、挥发性以及热分解机理。结果显示,合成的Fe(DPM)3在空气气氛和氮气气氛下均具有良好的挥发性,气化失重率达到98%以上,空气气氛中氧的存在对Fe(DPM)3的气化和分解具有一定的促进作用;质谱分析结果表明:在Fe(DPM)3的分解过程中,首先有一个DPM配体解离,然后在剩余两个DPM配体中先解离出-C(CH3)3基团,随后分裂出剩下的-OCCH2COC(CH3)3基团,最后得到+Fe(DPM)碎片。本文同时以新合成的Fe(DPM)3作为前驱物,采用气溶胶辅助的金属有机化学气相沉积(AerosolAssistedMOCVD,AA-MOCVD)技术在α-Al2O3衬底上成功沉积制备了α-Fe2O3薄膜。
- 王艳艳姜银珠高建峰刘铭飞孟广耀
- 关键词：MOCVD挥发性热分解
- 聚酰亚胺/氮化碳纳米复合薄膜的微观结构设计与导热性能研究
- 随着电子器件朝着轻薄化和高密度集成化方向发展，这使得更多的电子元器件被组装在更小空间内。电子产品在高速运行的过程中势必会在小的内部空间中产生更多的运行热，破坏电子器件的运行可靠性。如何实现有效散热已逐渐成为制约电子器件发...
- 王艳艳
- 关键词：微观结构导热性能
- 文献传递
