刘卫国
- 作品数：122 被引量：262H指数：7
- 供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅科研计划项目西安工业大学校长基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 用于SAW器件制造的键合减薄技术被引量：3
- 2013年
- 铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层,通常LiNbO3晶片厚度为500μm,而实际上压电层的有效利用厚度为λ～2λ(λ为声表面波波长)。为能实现SAW器件的高度集成化,需用键合减薄及抛光技术对LiNbO3进行加工处理。用粒径100nm的SiO2抛光液对减薄后的铌酸锂晶体样品进行化学机械抛光,研究了抛光垫、抛光盘转速、压力及抛光时间对抛光过程的影响。抛光结果表明最佳抛光工艺参数是:采用阻尼布抛光盘,100nm的SiO2抛光液,转速为120r/min,压力为3.9N,抛光时间为40min。经测试样品厚度为80μm,样品的最小粗糙度Ra=0.468nm,Rq=0.593nm(Ra为算术平均粗糙度,Rq为均方根粗糙度)。
- 程进刘卫国刘欢郭伟进
- 关键词：抛光
- 离子源工艺参数对BCB胶刻蚀速率和表面粗糙度的影响
- 2015年
- 为了研究离子束刻蚀抛光过程中离子源工艺参数对刻蚀速率及表面粗糙度的影响,采用微波离子源为刻蚀离子源,以BCB胶为主要研究对象,研究了离子束能量、离子束电流、氩气流量、氧气流量对BCB胶刻蚀速率及表面粗糙度的影响,获得了离子源工艺参数与刻蚀速率及表面粗糙度演变的关系。研究结果表明,离子束能量在从400eV增大到800eV的过程中,刻蚀速率不断增大,从3.2nm/min增大到16.6nm/min;离子束流密度在从15mA增大到35mA的过程中,刻蚀速率不断增大,从1.1nm/min增大到2.2nm/min;工作气体中氧气流量从2mL/min增大到10mL/min的过程中,刻蚀速率会整体增大,在8mL/min处略有下降。表面粗糙度变化不大,可以控制在1.8nm以下。
- 包强刘卫国蔡长龙周顺陈智利惠迎雪姬娇
- 关键词：离子束刻蚀刻蚀速率
- 超高圆二色性近红外全介质二维手性超表面
- 2024年
- 随着微纳加工技术的发展,手性超表面被证明在光学中有着巨大的应用潜力。传统的金属手性结构,由于其自身存在的欧姆损耗,难以取得理想的圆二色性,而具有良好圆二色性但结构复杂的三维手性结构加工制备困难。采用周期性双Si砖错位拼接的二维全介质手性结构,通过激发介质内部中非正交的面内磁偶极矩和电偶极矩,可以产生明显的光学手性响应,从而得到理想的圆二色性。通过仿真优化,该结构在1550 nm波长附近可以实现超过0.94的超高圆二色性,并且可以实现对入射的左旋圆偏振光到右旋圆偏振光的转化。该全介质二维手性超表面的圆二色性高、结构简单、制备难度低,在近红外偏振成像等领域有着广泛的应用前景。
- 王望孙雪平万希智刘卫国
- 关键词：全介质手性圆二色性
- 三维重建的彩色点云配准算法优化被引量：3
- 2022年
- 点云配准是三维重建中的重要步骤,为解决传统迭代最近点(ICP)点云配准算法速度慢、迭代次数多、精度低的问题,在搭建3D相机与RGB模组成像系统的基础上,对传统ICP方法进行改进,提出一种AKAZE(Accelerated KAZE)算法与广义迭代最近点(GICP)算法相融合的方法。此方法采用AKAZE算法进行RGB图像的特征点匹配,将RGB图像的特征点映射至对应的点云数据上,利用广义迭代最近点算法实现点云配准。试验结果表明,所述融合算法相比传统的ICP算法,降低了迭代次数,平均时间缩短了41.29%,时间效率得到了极大提升,配准效果也有明显改善。提出的点云配准方法有效地解决了传统配准方法时间效率低的问题。
- 谢一博姚斯齐徐乃涛周顺余自然程进刘卫国
- 关键词：迭代最近点算法点云配准3D重建
- 基于相干偏振统一理论的Schmidt棱镜衍射特性
- 2018年
- 一束光通过屋脊棱镜,在镜内会被分为两条路径传播。两条路径偏振传输特性的差异,导致了零级衍射光斑的分裂现象,严重影响了光学系统的成像质量。为了弄清楚这种分裂现象,利用相干偏振理论,全面研究了不同偏振态的光束通过Schmidt棱镜后的光强分布。此光强分布同时包含了棱镜的结构参数。通过对此光强分布进行分析,得到了对准单色光的如下结论:1)均匀态偏振光通过棱镜后的分裂双峰间距随着偏振度的增加而增加,且双峰极大值的光强差也随之增加;2)矫正屋脊棱镜衍射光斑分裂现象的最理想条件为偏振矩阵因子B=0。通过改变单一界面入射角的方式获得不同偏振度的单色偏振光。检测该单色偏振光经过Schmidt棱镜后的衍射分布,得到与相干偏振统一理论分析一致的结果。
- 孙雪平刘卫国卢进军
- 关键词：相干光学偏振相干棱镜
- 铌酸锂微纳米结构的制备与分析被引量：1
- 2023年
- 为实现铌酸锂光学器件的高效集成,在其表面制备亚波长结构是实现其光学特性的最佳方式。然而,目前使用的聚焦离子束刻蚀、激光刻蚀、湿法刻蚀等方法很难简单、经济、较快地制备铌酸锂亚波长结构。鉴于此,本课题组基于有限元仿真及低能离子束刻蚀技术,研究了不同离子束参数下刻蚀的铌酸锂亚波长结构及其透射率。采用Lambda950分光光度计和原子力显微镜分别对刻蚀后的铌酸锂样品的透射率、均方根粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。结果表明:当离子束入射角度为70°、入射能量大于600 eV、束流大于40 mA、刻蚀时间大于60 min时,铌酸锂样品表面形成了大面积的锥形纳米结构,并且纳米结构的高度随着离子束刻蚀参数的增大而增大;在可见光波段,铌酸锂表面纳米结构越高,增透效果就越明显;当入射能量为1000 eV、离子束束流为40 mA、入射角度为70°、刻蚀时间为120 min时,铌酸锂表面刻蚀出了纵向高度为143.5 nm的锥形结构,此时在可见光范围内铌酸锂样片的峰值透射率为83.5%,相较于原片的透射率提高了约12.5个百分点。
- 唐汇诗陈智利唐黎惠迎雪刘卫国
- 关键词：表面光学铌酸锂亚波长结构离子束刻蚀透射率
- 等离子体增强液态源MOCVD系统的研制被引量：1
- 2008年
- 本文介绍了一台新型等离子体增强液态源MOCVD系统。系统由液态源汽化装置、反应室、等离子体产生装置、真空系统及自动控制系统等主要部分组成。该系统采用了由超声雾化器和加热腔组成的液态源汽化装置,将液态源转变成气态供给反应室沉积薄膜。为了提高金属有机物的化学反应活性,在有布气盒结构的反应室基础上,引入了射频等离子体。真空控制采用了由蝶阀、真空规和机械增压泵组成的闭环控制系统。自动控制系统的设计基于PLC和触摸屏,通过触摸屏完成工艺参数设置及实时数据显示,通过PLC完成系统控制。使用该液体输送MOCVD系统在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上沉积了锆钛酸铅铁电薄膜。实际应用证明,该系统结构紧凑,高度自动化以及控制灵活,适合于制备高质量的复合金属氧化物薄膜。
- 刘卫国周顺高爱华张伟张雄星金娜
- 关键词：金属有机物化学气相沉积汽化器
- 基于卷积神经网络的光学元件表面缺陷图像分类被引量：2
- 2023年
- 光学元件的表面疵病,即表面缺陷,其形状的大小会直接影响光学系统的性能,在对表面缺陷进行分类时,所面对的很多表面缺陷的形状都是不规则的,依靠普通的模式识别技术,分类很难达到预期的效果。为解决精密光学元件表面缺陷分类方法中精度低、耗时长的问题,提出了基于卷积神经网络的精密光学元件表面缺陷分类方法。采用散射法获取表面缺陷图像,分析其成像特点,通过对图像进行旋转,镜像扩增了数据集,加强了网络的训练能力。使用AC训练网络模型,在不增加额外计算量的同时加强了网络的特征获取力。通过Softmax分类器,将精密光学元件表面缺陷分为划痕、麻点及噪点3类。实验结果表明,所使用的模型对缺陷分类精度超过99.05%。
- 侯劲尧刘卫国周顺高爱华葛少博肖相国
- 关键词：光学元件卷积神经网络计算机视觉
- GaAs/Al_(0.3)Ga_(0.7)As量子阱红外探测器光谱特性研究被引量：3
- 2015年
- 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长Ga As/Al0.3Ga0.7As量子阱材料,制备300μm×300μm台面,内电极压焊点面积为20μm×20μm,外电极压焊点面积为80μm×80μm单元量子阱器件两种。利用傅里叶光谱仪对1#,2#样品进行77K液氮温度光谱响应测试。实验结果显示1#,2#样品峰值响应波长分别为8.43μm,8.32μm,与根据薛定谔方程得到器件理论峰值波长8.5μm间误差分别为1.0%,2.1%。实验结果说明MOCVD技术可以满足QWIP生长制备工艺要求,且器件电极压焊点位置与面积大小对器件峰值波长影响不大,而对峰值电流有一定影响。
- 胡小英刘卫国段存丽蔡长龙关晓
- 关键词：GA量子阱红外探测器光谱特性
- 基于直方图的红外图像互补伪彩色编码处理被引量：5
- 2009年
- 在室温热成像系统的基础上,根据红外图像的特点,结合互补色编码原理和人的视觉习惯,提出了一种基于直方图的HIS空间的伪彩色编码算法,算法能够根据直方图的统计分析自适应的进行伪彩色分配。算法实时的运行在以DSP为核心的硬件系统上,实验表明,伪彩色编码图像色彩丰富,层次分明,分辨细节能力强。
- 秦文罡高爱华刘卫国
- 关键词：红外图像直方图分析DSP
