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陈长城
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利用聚焦电子束制作高精度纳米孔及纳米孔阵列的方法
本发明提供了一种利用聚焦电子束简单、高效制作高精度纳米孔及纳米孔阵列的方法,该方法是在真空度为1×10<Sup>-7</Sup>~1×10<Sup>-10</Sup>Torr,工作电压为100kV~200kV下,采用强度...
段辉高
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