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陈文亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：国立台湾大学更多>>
相关领域：建筑科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇建筑科学

主题

  • 1篇半导体
  • 1篇半导体厂

机构

  • 1篇国立台湾大学

作者

  • 1篇丁俊智
  • 1篇范瑞展
  • 1篇陈希立
  • 1篇陈文亮

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体厂制程排气系统之研究
制程排气系统之设计,不仅须符合流量之要求,而且应考虑到系统压力平衡、噪音、震动、空间限制以及整体系统成本等相关问题.本研究以3C风管设计法对半导体厂制程排气系统作一设计.此3C风管设计法主要包含三个计算步骤:计算机辅助设...
陈文亮范瑞展丁俊智陈希立
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