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黄卫国

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电机
  • 1篇直线电机
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇赵立华
  • 1篇谭立杰
  • 1篇黄卫国
  • 1篇石艺楠

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2019
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排序方式：
直线电机在半导体设备中的典型应用分析
2019年
随着直线电机理论和产业的逐渐成熟,其在半导体设备中的应用也越来越广泛;两种典型结构直线电机,即U型电机、平板电机,具有结构简单、高响应特性和高精度等特点,从设计选型、抗干扰和精度控制等几方面举例分析。
赵立华谭立杰黄卫国石艺楠张永昌
关键词：直线电机半导体设备
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