胡芳菲
- 作品数：5 被引量：2H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种新型岛膜压力传感器的研究与设计被引量：1
- 2015年
- 设计了一种量程为180 kPa的新型岛膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过ANSYS仿真软件,得出了在岛宽为500μm、岛厚为40μm、梁宽为200μm、敏感薄膜厚为15μm的情况下,该结构具有较好的线性度及灵敏度。提出了一种基于两层SOI硅-硅直接键合的工艺加工方法,能够精确控制敏感薄膜及岛的厚度,并且全硅结构器件能够避免键合残余应力,大大提高器件性能。采用了双惠斯登电桥电路减小传感器输出的温漂效应,并设计了该电路的压敏电阻连接图。最后对该压力传感器进行了测试,结果表明,其非线性为0.64%,精度为0.74%,满足现代工业应用要求。
- 余成昇展明浩胡芳菲李凌宇何凯旋许高斌
- 关键词：ANSYS仿真硅-硅直接键合
- 基于射频MEMS开关的多频可重构天线
- 目前,无线通信系统的重要发展方向为小型化,超宽带和功能多样化。因此,天线作为无线传输系统必不可少的基本部件,一方面被要求扩展带宽,另一方面需要便于携带和安装,传统的天线设计一般是通过增加天线数量来实现多个频段的要求,天线...
- 胡芳菲
- 关键词：可重构天线PIFA天线多频段
- 文献传递
- 微机械双轴电容式加速度传感器设计
- 2014年
- 设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器,其具有4个水平检测单元,X、Y轴向的检测单元各有两组,且水平对称,有效地消除了轴间的交叉干扰;结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm×3 250μm×5μm;栅型条的尺寸大小为1 575μm×35μm×5μm;间距为35μm,利用Ansys软件对加速度传感器进行性能仿真,得出加速度传感器X和Y轴向的静态灵敏度为0.253μm/g;电容灵敏度为1.533 pF/g;X和Y轴向的谐振频率为949 Hz,阻尼比为0.83。
- 沈文清胡芳菲
- 关键词：传感器灵敏度谐振频率
- 基于RF MEMS开关的多频可重构PIFA天线
- 目前，无线通信系统的重要发展方向为小型化，超宽带和功能多样化。因此，天线作为无线传输系统必不可少的基本部件，一方面被要求扩展带宽，另一方面需要便于携带和安装，传统的天线设计一般是通过增加天线数量来实现多个频段的要求，天线...
- 胡芳菲
- 关键词：平面倒F天线多频段可重构性
- 文献传递
- RF MEMS频率可重构三频PIFA天线的设计
- 2016年
- 设计了一种结合RF MEMS开关实现频率可重构的三频PIFA(planner inverted F-antenna,平面倒F天线)天线。该频率可重构天线通过变换在地层的RF MEMS开关的通断改变天线的谐振回路的物理长度,从而改变PIFA天线的工作频率。通过HFSS仿真可知,这个天线可以工作在203,498和910 MHz这三个频率为中心的频段,其相对带宽分别为18%,10%和8%,能够满足实际通信的需求。
- 胡芳菲许高斌陈兴马渊明
- 关键词：平面倒F天线可重构天线MEMS开关
