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王小波

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇动力学
  • 1篇钛离子
  • 1篇离子
  • 1篇分子
  • 1篇分子动力学
  • 1篇薄膜生长

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇王晓艳
  • 1篇王炎武
  • 1篇赵玉清
  • 1篇陈仙
  • 1篇王小波

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理被引量：1
2014年
研究了非晶氧化钛薄膜沉积过程中入射钛离子能量对表面结构形成机理以及薄膜特性的影响.模拟结果表明,通过提高入射钛离子能量,可以有效降低成膜表面粗糙度,从而减小薄膜表面的光学散射损耗.研究发现,当入射离子能量提高后,薄膜生长模式从"岛"状生长过渡到了"层"状生长,且离子入射点附近的平均扩散系数也有显著增加,这有利于形成更加平整的高质量薄膜表面.
陈仙王炎武王晓艳安书董王小波赵玉清
关键词：薄膜生长分子动力学
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