胡晨
- 作品数：27 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 大口径光栅基板运输上下机床装置
- 一种大口径光栅基板运输上下机床装置，装置包括液压升降车、移动式承载架、气动升降台、固定用锁定挡块、升降车台面上导轨、液压缸、小滚轮、固定销、气液增压缸、定位杆、升降车平台、大理石平台上轨道组件。液压升降车用于装载大口径光...
- 刘振通魏朝阳邵建达洪志胡晨顾昊金赵映辉
- 文献传递
- 基于计算全息图的大口径长焦距离轴抛物面反射镜测量
- 2024年
- 随着激光脉冲宽度极限的不断突破以及峰值功率的不断提高,脉宽压缩光栅的尺寸需要进一步增大。但反射式曝光系统所需大口径长焦距离轴镜的高精度加工检测成为制约大口径光栅制作的难题。采用计算全息补偿检测不需要复杂的设计和装调,但同样会引入非回转对称和复杂的二维投影畸变。传统的畸变校正方法由于精度受限或计算复杂不利于工程应用。提出基于数值计算的畸变校正方法,该方法具有简单通用易于编程的优点。利用800 mm口径折反镜在直径为18 m光学平台上搭建了面形检测光路,通过系统误差标定去除以及畸变校正的方法实现了高精度面形测量,经磁流变迭代加工后,面形精度RMS可收敛至0.013λ(λ=632.8 nm),这为后续大口径反射式曝光系统的建立奠定了基础。
- 胡晨魏朝阳魏朝阳江国昌顾昊金邵建达
- 关键词：计算全息图
- 全频段高精度非球面光学元件的加工方法
- 本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法，该方法主要包括以下步骤：1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形；2)根据待加工面形误差数据，选择合适的柔性抛光小工具，结合该小工具的去除函数，确定数控机床的加工参数。3)...
- 邵建达张逸中魏朝阳胡晨张海超
- 文献传递
- 高精度曝光透镜的加工方法
- 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法，该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理，并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波...
- 胡晨邵建达魏朝阳吴令奇顾昊金
- 文献传递
- 基于空间光调制器的点光源阵列发生器及其获得方法
- 本发明公开了一种基于空间光调制器的点光源阵列发生器包括激光器、扩束镜、准直镜、起偏器、空间光调制器、计算机和成像透镜；及点光源阵列获得方法，包括计算点光源阵列发生器所需离轴抛物面镜结构和光学参数，设计对应灰度图；将设计灰...
- 路晴魏朝阳邵建达胡晨
- 文献传递
- 任意孔径形状高阶自由曲面波前的重构方法
- 一种任意孔径形状的高阶自由曲面波前重构方法。该方法将基于数值化正交多项式的模式法和基于多项式的有限差分法相结合，可实现任意孔径形状的复杂自由曲面波前重构。首先针对不同孔径形状，构造数值化正交多项式用以拟合波前斜率信息，得...
- 吴珍魏朝阳胡晨万嵩林
- 文献传递
- 大型口径离轴非球面透镜的铣磨加工方法
- 一种大型口径离轴非球面透镜的铣磨加工方法，通过设计带角度的夹具装置，将待加工离轴非球面透镜沿其子午方向倾斜一定角度摆放在机床转台中心，降低待加工离轴非球面透镜的矢高变化率，在铣磨待加工离轴非球面透镜毛坯成最接近拟合球面的...
- 魏朝阳赵璇邵建达张彦超胡晨
- 文献传递
- 全频段高精度非球面光学元件的加工方法
- 本发明公开了一种全频段高精度非球面加工方法，该方法主要包括以下步骤：1)用干涉仪检测铣磨成形后的待加工非球面面形；2)根据待加工面形误差数据，选择合适的柔性抛光小工具，结合该小工具的去除函数，确定数控机床的加工参数。3)...
- 邵建达张逸中魏朝阳胡晨张海超
- 不同压力模型下边缘去除函数对比分析被引量：2
- 2014年
- 在计算机控制光学表面成形(CCOS)技术中,由于边缘处压力分布的不均匀,会在工件边缘产生边缘效应,边缘效应会严重阻碍面形误差的收敛,边缘效应问题已成为数控加工技术中亟待解决的关键问题之一。针对边缘处压力阶跃分布模型和线性分布模型进行了理论仿真及实验验证,实验结果表明,对于方形工件,在露边量较大(实验中露边量为去除函数束径的1/3)和露边量较小(实验中露边量为去除函数束径的1/24)的情况下,两种模型得到的去除函数结果相差不大,都能够在一定程度上反映出实际结果;当露边量适中(实验中露边量为去除函数束径的1/6)时,线性模型下的去除函数更接近实验结果,阶跃模型在去除函数中心区域与实验结果偏离较大。
- 吉建伟魏朝阳胡晨张海超徐学科邵建达
- 关键词：光学制造去除函数
- 高精度曝光透镜的加工方法
- 一种用于脉冲压缩光栅制作的高精度曝光透镜加工方法，该方法包括搭建自准直干涉检测装置、曝光透镜非球面的铣磨加工、研抛、精密抛光和平滑处理，并在研抛、精密抛光和平滑处理过程采用所述的自准直干涉检测装置对待加工曝光透镜的透过波...
- 胡晨邵建达魏朝阳吴令奇顾昊金
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