赵瑾珠
- 作品数：9 被引量：6H指数：1
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- 一种提高磁控溅射矩形靶厚度均匀性的基板运动方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法，靶上有条形环状的刻蚀环，圆形基板面对所述矩形靶，在所述矩形靶两侧对称位置设置第一折返点1和第二折返点2之间往复运动，包括如下内容：圆形基板在第一折返点1和第二折...
- 杜晓松郭攀赵瑾珠孙凤佩袁欢蒋亚东
- 文献传递
- 一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板运动方法，靶上有条形环状的刻蚀环，圆形基板面对所述矩形靶，在所述矩形靶两侧对称位置设置第一折返点1和第二折返点2之间往复运动，包括如下内容：圆形基板在第一折返点1和第二折...
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- 基片的运动方式对磁控溅射矩形靶镀膜均匀性的影响被引量：6
- 2016年
- 本文从理论上分析了磁控溅射镀膜中基片的运动方式对沉积薄膜厚度均匀性的影响。在考虑了溅射环内不同位置刻蚀权重的情况下,对静止、直线往复运动(以下简称平动)、平动结合转动、平动结合转动并在折返处停留自旋四种运动方式,根据余弦定律对矩形靶在圆形基片上溅射的膜厚分布进行物理建模和仿真研究,并计算出相应的镀膜均匀度。研究结果表明,相比静止模式,平动时的膜厚均匀性有显著改善,平动结合转动的膜厚均匀性优于平动模式;但在前三种模式下,基片上的膜厚分布均为中心厚,边缘薄。而当采用第四种模式时,膜厚分布不再呈单调下降的趋势,延长停留时间会使膜厚分布发生翻转,变为中间薄、边缘厚,中间存在一个最佳的停留时间使得膜厚均匀性最好。
- 张向秀张鹏飞赵瑾珠郭攀杜晓松
- 关键词：磁控溅射膜厚均匀性
- 声表面波电子鼻探测器的技术研究
- 自第一次世界大战以来，化学战剂(CWA)大量被用于战场，近二三十年来，更被恐怖组织所利用，已经严重危害到生态环境的持续发展和全人类的生命财产安全。由于化学战剂具有易制造、造价低、杀伤力强、破坏范围广等特点，使得禁止化学战...
- 赵瑾珠
- 关键词：电子鼻传感器模式识别声表面波
- 一种新型LED驱动电路
- 本发明公开了一种新型LED驱动电路，它包括电源、开关电路、第一二极管D1、LED和AMC7135芯片，电源与开关电路连接，开关电路通过第一二极管D1与AMC7135的VDD端连接，开关电路和第一二极管D1的公共端与LED...
- 吕坚孙凤佩赵瑾珠吕静
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- 一种加快痕量气体集成探测器响应的方法
- 本发明公开一种加快痕量气体集成探测器响应的方法，气路装置包括连接进气口的富集器、气体传感器、第一气泵依次连接形成主气路，通过三通阀将第一支气路连接于富集器输出端；通过三通阀或三通转接头将第二支气路绕过富集器直接将气体传感...
- 吴朋林郭攀赵瑾珠杜晓松谢光忠
- 文献传递
- 一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板偏心自转方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板偏心自转方法,在矩形平面磁控溅射靶固定在真空室中，圆形基板面对矩形靶放置并绕其自身的中心轴自转，其特征在于，包括如下内容：调节圆形基板中心沿矩形靶的短边方向的偏心距D满足...
- 杜晓松赵瑾珠郭攀孙凤佩袁欢蒋亚东
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- 一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板偏心自转方法
- 本发明公开了一种提高磁控溅射矩形靶膜厚均匀性的基板偏心自转方法,在矩形平面磁控溅射靶固定在真空室中，圆形基板面对矩形靶放置并绕其自身的中心轴自转，其特征在于，包括如下内容：调节圆形基板中心沿矩形靶的短边方向的偏心距D满足...
- 杜晓松赵瑾珠郭攀孙凤佩袁欢蒋亚东
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- 一种加快痕量气体集成探测器响应的气路装置
- 本发明公开一种加快痕量气体集成探测器响应的气路装置，包括连接进气口的富集器、气体传感器、第一气泵依次连接形成主气路，通过三通阀将第一支气路连接于富集器输出端；通过三通阀或三通转接头将第二支气路绕过富集器直接将气体传感器与...
- 吴朋林郭攀赵瑾珠杜晓松谢光忠
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