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姚鹏丽

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京科技大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇微波
  • 2篇金刚石膜
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇真空性能
  • 1篇微波等离子体
  • 1篇微波等离子体...
  • 1篇微波谐振腔
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇功率
  • 1篇反射体
  • 1篇高温等离子体
  • 1篇SUB

机构

  • 2篇北京科技大学

作者

  • 2篇唐伟忠
  • 2篇刘艳青
  • 2篇李义锋
  • 2篇李小龙
  • 2篇姚鹏丽
  • 2篇苏静杰
  • 2篇丁明辉

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
本发明TM<Sub>021</Sub>模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置，该装置由上下圆柱体、可调节的上腔体和微波反射板、沉积台、微波同轴激励口，微波石英窗口，进出气口，测温孔和观察窗等组成。此装置拥有TM<Sub...
唐伟忠李义锋苏静杰刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
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一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置
一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置，适用于高功率微波输入下高品质金刚石膜的快速制备。谐振腔主体由圆顶反射体、金属薄板反射体、石英环窗口、圆柱反射体和沉积台所组成。金属薄板反射体可以阻挡微波向谐振腔顶部的传播，...
唐伟忠苏静杰李义锋刘艳青丁明辉李小龙姚鹏丽
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