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张文骅
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一种制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层的方法
本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层的方法;首先,采用大分子有机硅烷作为前驱体,采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜,然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜,以制备非晶碳化...
崔雨潇
孙方宏
张文骅
沈彬
郭睿
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一种制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层的方法
本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层的方法;首先,采用大分子有机硅烷作为前驱体,采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜,然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜,以制备非晶碳化...
崔雨潇
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