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王嘉欣

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇中文专利

主题

  • 2篇底座
  • 2篇电阻
  • 2篇湿法腐蚀
  • 2篇微结构
  • 2篇微阵列
  • 2篇硅片
  • 2篇感器
  • 2篇薄膜电阻
  • 2篇保护装置
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电学
  • 1篇氧化物
  • 1篇氧气传感器
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇水热
  • 1篇水热法
  • 1篇水热法合成
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器

机构

  • 5篇西安交通大学

作者

  • 5篇王海容
  • 5篇孙侨
  • 5篇王嘉欣
  • 3篇陈磊
  • 3篇孙全涛
  • 2篇肖利辉
  • 2篇蒋庄德
  • 2篇姚宇清
  • 1篇吴志红

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2016
  • 2篇2014
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
文献传递
基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法
本发明公开了一种基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法，其特征在于，待腐蚀硅片正面朝上放置在一个底座的凸台上，硅片上置压块，硅片与压块间由一圆环隔离；底座卡在一圆柱形容器壁上，底座凸台开有通孔与圆柱形容器相通，圆...
王海容姚宇清吴桂珊王嘉欣孙侨
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基于纳米TiO<Sub>2</Sub> 薄膜的微型氧气传感器及制备工艺
本发明公开了一种基于纳米TiO<Sub>2</Sub>薄膜的微型氧气传感器及制备工艺，该传感器自下而上分别为硅基底、二氧化硅和氮化硅绝缘层、敏感层与加热丝、叉指电极层。制备工艺包括：在Si<Sub>3</Sub>N<Su...
王海容王嘉欣陈磊孙全涛孙侨吴志红
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基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法
本发明公开了一种基于湿法腐蚀工艺的硅片正面微结构保护装置及方法，其特征在于，待腐蚀硅片正面朝上放置在一个底座的凸台上，硅片上置压块，硅片与压块间由一圆环隔离；底座卡在一圆柱形容器壁上，底座凸台开有通孔与圆柱形容器相通，圆...
王海容姚宇清吴桂珊王嘉欣孙侨
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一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺
本发明公开了一种基于MEMS的金属氧化物气体传感器及制备工艺，其特征在于，气体传感器由Si基底、绝缘层、两个薄膜电阻加热元件、矩形微阵列、一对敏感电极及生长在矩形微阵列上的金属氧化物三维多级纳米结构组成。Si基底下部被各...
王海容陈磊王嘉欣孙侨肖利辉孙全涛蒋庄德
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